[實用新型]一種防止光阻回流的裝置

有效

• 申請號: 201821646630.6
• 申請日: 2018-10-11
• 公開（公告）號: CN208706574U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 王玉政;程虎
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/027
• 分類號: H01L21/027;H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 白振宇

1.一種防止光阻回流的裝置，其特征在于：包括光阻管路(1)、光阻瓶蓋(2)、光阻瓶(3)、防空管堵(4)、光阻瓶托板(5)及稱重傳感器(6)，其中光阻瓶(3)放置在光阻瓶托板(5)上，該光阻瓶托板(5)上安裝有稱重傳感器(6)；所述光阻管路(1)安裝在光阻瓶蓋(2)上，并伸入光阻瓶(3)中，該光阻管路(1)位于所述光阻瓶(3)內的末端安裝有防空管堵(4)，所述防空管堵(4)的上表面(8)高于光阻管路(1)末端出口的端面。

2.根據權利要求1所述防止光阻回流的裝置，其特征在于：所述防空管堵(4)為上端開口的內部中空結構，與所述光阻管路(1)的末端螺紋連接或過盈配合連接。

3.根據權利要求1所述防止光阻回流的裝置，其特征在于：所述防空管堵(4)的內側壁上開設有凹槽(7)，該凹槽(7)的下邊緣沿徑向向內延伸，所述光阻管路(1)的末端抵接于凹槽(7)向內延伸的部分。

4.根據權利要求1所述防止光阻回流的裝置，其特征在于：所述光阻瓶(3)內的光阻重量通過稱重傳感器(6)檢測，該稱重傳感器(6)的設定重量值需保證光阻瓶(3)內剩余光阻的液面高過防空管堵(4)的上表面(8)。

5.根據權利要求1所述防止光阻回流的裝置，其特征在于：所述光阻管路(1)在更換光阻瓶(3)時與光阻瓶蓋(2)共同取下。

6.根據權利要求1所述防止光阻回流的裝置，其特征在于：所述光阻管路(1)伸入光阻瓶(3)內的長度可調。