[實(shí)用新型]一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821645726.0
• 申請(qǐng)日: 2018-10-11
• 公開（公告）號(hào): CN209458204U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 苗潤財(cái);苗偉偉;張震
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海繁楓真空科技有限公司
• 主分類號(hào): F04F9/00
• 分類號(hào): F04F9/00
• 代理公司: 上海互順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31332
• 代理人: 余毅勤

本實(shí)用新型公開了一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯，包括第一級(jí)噴嘴、第二級(jí)噴嘴、第三級(jí)噴嘴和第四級(jí)噴嘴，第一級(jí)噴嘴安裝在一級(jí)噴嘴座上，第一級(jí)噴嘴通過長螺桿與一級(jí)噴嘴座、四級(jí)導(dǎo)流管安裝成一體，第二級(jí)噴嘴安裝在第三級(jí)噴嘴上。本實(shí)用新型是一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯，通過第一級(jí)噴嘴、第二級(jí)噴嘴、第三級(jí)噴嘴和第四級(jí)噴嘴的傘帽形擴(kuò)散噴嘴帽的設(shè)置，加快泵體內(nèi)抽氣介質(zhì)的排除，達(dá)到最佳噴射效率，泵芯旋壓越大外形容易變形，組裝后間隙無法保證，采用部分焊接的方式改進(jìn)，底部擋油盤使用鋁制材料，有效預(yù)防碳鋼材料加熱后變形量大的情況，擴(kuò)散泵泵芯設(shè)置36英寸口徑，能夠達(dá)到抽速要求，解決國內(nèi)真空擴(kuò)散泵一直使用進(jìn)口36寸擴(kuò)散泵芯的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種泵芯，特別涉及一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯，屬于油擴(kuò)散泵應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動(dòng)的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10^-4～10^-5帕，工作壓力范圍為10^-1～10^-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒(1L＝10^-3m³)。

擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約為200 度)產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運(yùn)動(dòng)，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。

以前國內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵最大口徑為32寸，針對(duì)國內(nèi)大型鍍膜機(jī)的使用中，該口徑無法達(dá)到抽速要求，我們針對(duì)國內(nèi)大型真空設(shè)備使用的廠家進(jìn)行了定向研發(fā)，解決了國內(nèi)真空有擴(kuò)散泵一直使用進(jìn)口36寸擴(kuò)散泵芯的問題。因此需要設(shè)計(jì)一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯，可以讓擴(kuò)散泵達(dá)到抽速要求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服擴(kuò)散泵口徑小的缺陷，提供一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供一種36英寸擴(kuò)散泵泵芯，包括第一級(jí)噴嘴、一級(jí)噴嘴座、第二級(jí)噴嘴、二級(jí)導(dǎo)流管、第三級(jí)噴嘴、第四級(jí)噴嘴、一級(jí)導(dǎo)流管、三級(jí)導(dǎo)流管、四級(jí)導(dǎo)流管、擴(kuò)壓導(dǎo)流管和底部擋油盤，所述第一級(jí)噴嘴安裝在一級(jí)噴嘴座上，所述第一級(jí)噴嘴通過長螺桿與一級(jí)噴嘴座、四級(jí)導(dǎo)流管安裝成一體，所述第二級(jí)噴嘴安裝在第三級(jí)噴嘴上，所述第三級(jí)噴嘴安裝在第四級(jí)噴嘴和三級(jí)導(dǎo)流管上，所述第四級(jí)噴嘴安裝在四級(jí)導(dǎo)流管上，所述第二級(jí)噴嘴上安裝有間隙墊，所述一級(jí)噴嘴座的下方設(shè)置有泵芯桿，所述三級(jí)導(dǎo)流管內(nèi)部設(shè)置有一級(jí)導(dǎo)流管，所述一級(jí)導(dǎo)流管的下方設(shè)置有擴(kuò)壓導(dǎo)流管，所述四級(jí)導(dǎo)流管的底部設(shè)置有底部擋油盤。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第一級(jí)噴嘴、第二級(jí)噴嘴、第三級(jí)噴嘴和第四級(jí)噴嘴為傘帽形擴(kuò)散噴嘴帽。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述第二級(jí)噴嘴與二級(jí)導(dǎo)流管通過墊圈、連接套管和不銹鋼螺桿連接在一起。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述二級(jí)導(dǎo)流管、三級(jí)導(dǎo)流管和四級(jí)導(dǎo)流管的內(nèi)部均設(shè)置有間隙墊、墊圈和連接套管。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述間隙墊分別用螺栓、平墊圈連接緊固在第二級(jí)噴嘴上。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述底部擋油盤的上方設(shè)置有泵芯葉片，所述底部擋油盤采用鋁制結(jié)構(gòu)，所述泵芯葉片采用焊接方式。