[實用新型]一種8寸油擴散泵

有效

• 申請號: 201821642605.0
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN209146002U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 苗潤財;苗偉偉;樊重飛
• 申請（專利權）人: 上海繁楓真空科技有限公司
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00
• 代理公司: 上海互順專利代理事務所(普通合伙) 31332
• 代理人: 余毅勤

本實用新型公開了一種8寸油擴散泵，包括油擴散泵泵身，油擴散泵泵身的頂部設置進氣口，油擴散泵泵身的一側外部連接有擴散器，擴散器的上方設置排氣口，擴散器的一側設置油標，油擴散泵泵身底部設置保護罩，保護罩的上方設置加熱器，油擴散泵泵身頂端外側設置法蘭，法蘭一側設置第一密封圈。本實用新型是一種8寸油擴散泵，將油擴散泵的整體尺寸縮小至與8英寸的接口尺寸相匹配，將冷阱、泵芯、及加熱器全部進行定制研發，滿足小型真空設備的實際需要，改變了以前需要大量轉接后的不便及浪費，該油擴散泵的抽速可以達到1600L/S，同時可以直接接在380V的工業用電，同時進氣口尺寸、組裝高度及排氣口組裝尺寸可以按照客戶需求定制。

技術領域

本實用新型涉及一種油擴散泵，特別涉及一種8寸油擴散泵，屬于油擴散泵應用技術領域。

背景技術

油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10^-4～10^-5帕，工作壓力范圍為10^-1～10^-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1L=10^-3m³）。

擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一，擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。擴散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓強高于蒸氣流中該氣體的分壓強。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運動，氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進氣多級壓縮，最后由前級泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環工作達到抽氣目的。

目前，國內市場上的擴散泵主要是針對大型真空設備研發的口徑普遍大于20英寸，針對科研、實驗室或者小型真空設備并無配套的擴散泵，我們針對國內的這一市場空白，針對小型真空設備配套的擴散泵進行了定制。因此，需要設計一種8寸油擴散泵，該8寸油擴散泵抽速可以達到1600L/S，同時可以直接接在380V的工業用電。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服無配套擴散泵的缺陷，提供一種8寸油擴散泵。為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型提供一種8寸油擴散泵，包括油擴散泵泵身、進氣口、擴散器、排氣口、油標、法蘭、第一級噴嘴、泵芯桿、第二級噴嘴、第三級噴嘴和冷卻系統，所述油擴散泵泵身的頂部設置有進氣口，所述油擴散泵泵身的一側外部連接有擴散器，所述擴散器的上方設置有排氣口，所述擴散器的一側設置有油標，所述油擴散泵泵身的底部設置有保護罩，所述保護罩的上方設置有加熱器，所述油擴散泵泵身的頂端外側設置有法蘭，所述法蘭的一側設置有第一密封圈，所述油擴散泵泵身的內部設置有第一級噴嘴，所述第一級噴嘴安裝在一級噴嘴座上，所述一級噴嘴座與泵芯桿相連通，所述泵芯桿的外側設置有第二級噴嘴，所述第一級噴嘴通過泵芯桿與第二級噴嘴安裝成一體，所述第二級噴嘴的下方設置有第三級噴嘴，所述第三級噴嘴通過導流管安裝固定在加熱器的上方，所述第二級噴嘴的下方設置有第二密封圈，所述第三級噴嘴的一側設置有第三密封圈，所述油擴散泵泵身的一側設置有連接桿，所述連接桿上套接有緊固螺栓，所述油擴散泵泵身的外側設置有冷卻系統。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述油擴散泵泵身呈現圓柱型，所述油擴散泵泵身采用鋁合金材質焊接制成。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述排氣口處安裝了擋油器，所述擋油器垂直于安放在排氣口處。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述法蘭設置有若干個，所述法蘭采用優質碳鋼整體加工制造結構。