[實(shí)用新型]摻雜劑摻雜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821641063.5
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN208844224U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 芮陽
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/04
• 分類號: C30B15/04;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 孫彥虎

一種摻雜劑摻雜裝置，摻雜劑摻雜裝置與籽晶夾頭可拆卸連接，籽晶夾頭的一端與重錘螺紋連接，所述摻雜劑摻雜裝置包括摻雜工裝、摻雜單元，本實(shí)用新型中，第一支撐桿插裝在籽晶夾頭的第一通孔中，整個(gè)摻雜工裝利用第一支撐桿懸掛固定，摻雜時(shí)，不用再將籽晶取下，避免了重復(fù)操作將籽晶裝入籽晶夾頭上，提高了工作效率和安全性，并且保證了籽晶不會因二次裝入而造成的磨損；第一支撐桿和第二支撐桿的兩端分別通過第一連接機(jī)構(gòu)、第二連接機(jī)構(gòu)吊裝連接，第五吊鉤吊裝于第二支撐桿上，摻雜工裝這種分體設(shè)計(jì)還能避免局部損壞后需要整體更換，而增加成本，拉晶爐內(nèi)環(huán)境要求嚴(yán)格，整個(gè)摻雜工裝采用鉬材料制成，能防止污染，整個(gè)摻雜工裝輕巧，使用方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及直拉法生產(chǎn)單晶硅設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種摻雜劑摻雜裝置。

背景技術(shù)

目前，拉單晶摻雜時(shí)需將整個(gè)裝籽晶夾頭取下，然后再將摻雜工裝掛至重錘上，進(jìn)行摻雜。因硅料化完后溫度很高，籽晶夾頭的溫度隨之很高，人員操作時(shí)需佩戴耐高溫手套，很不方便，并且摻雜結(jié)束后，需重復(fù)操作將籽晶裝入重錘上，二次反復(fù)操作對籽晶造成很大的破壞，增加了籽晶破裂的幾率，從而影響拉晶。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，針對上述不足，有必要提出一種操作安全、不需要反復(fù)拆卸摻雜工裝的摻雜劑摻雜裝置。

一種摻雜劑摻雜裝置，所述摻雜劑摻雜裝置與籽晶夾頭可拆卸連接，籽晶夾頭的一端與重錘螺紋連接，籽晶夾頭的另一端夾持有籽晶，重錘通過拉繩懸吊在位于單晶爐副爐室上方的提拉機(jī)構(gòu)上，在籽晶夾頭的上設(shè)有水平的第一通孔，所述摻雜劑摻雜裝置包括摻雜工裝、摻雜單元，摻雜工裝由鉬材料制成，所述摻雜工裝包括第一支撐桿、第一鉤環(huán)、第二鉤環(huán)、第一連接機(jī)構(gòu)、第二連接機(jī)構(gòu)、第三鉤環(huán)、第四鉤環(huán)、第二支撐桿、第五吊鉤，第一支撐桿穿過第一通孔，并與第一通孔螺紋配合，以使第一支撐桿相對籽晶夾頭位置固定，第一支撐桿的兩端分別固定安裝有第一鉤環(huán)、第二鉤環(huán)，第一連接機(jī)構(gòu)包括第一吊鉤、第一鉬繩、第二吊鉤，第一鉬繩兩端分別與第一吊鉤、第二吊鉤的連接端連接，第二連接機(jī)構(gòu)包括第三吊鉤、第二鉬繩、第四吊鉤，第二鉬繩兩端分別與第三吊鉤、第四吊鉤的連接端連接，第二支撐桿的兩端分別固定安裝有第三鉤環(huán)、第四鉤環(huán)，第二支撐桿中部具有一個(gè)向下彎曲段，在彎曲段鉤掛第五吊鉤，第一吊鉤、第二吊鉤、第三吊鉤、第四吊鉤分別鉤掛第一鉤環(huán)、第三鉤環(huán)、第二鉤環(huán)、第四鉤環(huán)上，以將第二支撐桿吊裝在籽晶夾頭的下方，所述摻雜單元的頂部與第五吊鉤的連接端連接，以將摻雜單元吊裝在第二支撐桿的下方。

優(yōu)選的，所述摻雜單元包括石英鐘罩、第六吊鉤、內(nèi)筒，石英鐘罩為圓頂狀，石英鐘罩中空，且底部開口，石英鐘罩的外側(cè)頂部中心安裝有突出端，該突出端與第五吊鉤的連接端鉸接，第六吊鉤的連接端與石英鐘罩的內(nèi)側(cè)頂部中心固定連接，內(nèi)筒的上端部具有一個(gè)吊耳，吊耳套入第六吊鉤，以將內(nèi)筒吊裝在石英鐘罩內(nèi)腔中，內(nèi)筒的內(nèi)腔中盛裝有摻雜元素。

優(yōu)選的，所述彎曲段包括左傾斜段、右傾斜段，所述左傾斜段、右傾斜段與水平面之間均成第一角度設(shè)置，所述第五吊鉤包括吊鉤本體，所述吊鉤本體具有兩個(gè)夾持部，以及連接連接兩個(gè)夾持部的彎曲部，所述彎曲部由彈性材料制成，其中一個(gè)夾持部具有一個(gè)自由端，另一個(gè)夾持部具有一個(gè)與石英鐘罩的突出端連接的連接端，在兩個(gè)夾持部相向內(nèi)側(cè)個(gè)各設(shè)置有第一加緊棒、第二加緊棒、第三加緊棒、第四加緊棒，第一加緊棒、第二加緊棒相互平行設(shè)置，第一加緊棒、第二加緊之間的距離小于第二支撐桿的直徑，第一加緊棒與水平面之間成第一角度設(shè)置，第一加緊棒、第二加緊棒與第三加緊棒、第四加緊棒相對對稱設(shè)置。

本實(shí)用新型中，第一支撐桿插裝在籽晶夾頭的第一通孔中，整個(gè)摻雜工裝利用第一支撐桿懸掛固定，摻雜時(shí)，不用再將籽晶取下，避免了重復(fù)操作將籽晶裝入籽晶夾頭上，提高了工作效率和安全性，并且保證了籽晶不會因二次裝入而造成的磨損；第一支撐桿和第二支撐桿的兩端分別通過第一連接機(jī)構(gòu)、第二連接機(jī)構(gòu)吊裝連接，第五吊鉤吊裝于第二支撐桿上，摻雜工裝這種分體設(shè)計(jì)還能避免局部損壞后需要整體更換，而增加成本，拉晶爐內(nèi)環(huán)境要求嚴(yán)格，整個(gè)摻雜工裝采用鉬材料制成，能防止污染，整個(gè)摻雜工裝輕巧，使用方便。