[實用新型]一種自動勻膠設備

有效

• 申請號: 201821640033.2
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN209393478U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發明（設計）人: 李衛國;陳志勤;陸前軍;王子榮;李城林;趙伍林
• 申請（專利權）人: 東莞市中圖半導體科技有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C9/14;B05B15/55
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

1.一種自動勻膠設備，其特征在于，包括：

勻膠模塊，包括勻膠吸片臺和滴膠管，所述勻膠吸片臺用于承載并吸附放置于所述勻膠吸片臺上的襯底，還用于旋轉所述襯底使所述襯底的涂膠面勻膠；所述滴膠管位于所述勻膠吸片臺的上方，用于滴膠至所述勻膠吸片臺上的所述襯底上；

勻膠冷卻模塊，包括冷卻噴嘴，所述冷卻噴嘴設置于所述勻膠吸片臺上放置的襯底的下方，用于噴射冷卻液體至所述襯底朝向所述勻膠吸片臺的一面，進行勻膠冷卻。

2.根據權利要求1所述自動勻膠設備，其特征在于，所述冷卻噴嘴以預設角度向所述襯底朝向所述勻膠吸片臺的一面噴射冷卻液體。

3.根據權利要求2所述自動勻膠設備，其特征在于，所述冷卻噴嘴為管狀結構；

所述冷卻噴嘴包括相互貫通的第一導管和第二導管，所述第一導管的第一端與所述第二導管的第一端連接，所述第一導管的第二端為冷卻液體接入口，所述第二導管的第二端為噴嘴口；所述第一導管的軸線垂直于所述勻膠吸片臺，所述第二導管的軸線與所述第一導管的軸線之間的夾角為所述預設角度。

4.根據權利要求3所述自動勻膠設備，其特征在于，所述第一導管上設置有開關控制閥門、流量控制閥門以及流量表頭；

所述開關控制閥用于控制所述冷卻噴嘴的開啟和關閉，所述流量控制閥門用于控制所述冷卻液體的流量，所述流量表頭用于顯示所述冷卻液體的當前流量。

5.根據權利要求3所述自動勻膠設備，其特征在于，所述預設角度的取值范圍為20°-70°。

6.根據權利要求3所述自動勻膠設備，其特征在于，所述噴嘴口與所述襯底朝向所述勻膠吸片臺的一面的距離為2mm-8mm。

7.根據權利要求1所述自動勻膠設備，其特征在于，還包括清洗模塊，所述清洗模塊包括有機溶劑噴嘴，所述有機溶劑噴嘴設置于所述勻膠吸片臺上放置的襯底的下方，用于噴射有機溶劑至所述襯底朝向所述勻膠吸片臺的一面，清洗所述襯底朝向所述勻膠吸片臺的一面上的膠體。

8.根據權利要求7所述自動勻膠設備，其特征在于，所述有機溶劑噴嘴復用為所述冷卻噴嘴。

9.根據權利要求1所述自動勻膠設備，其特征在于，還包括：上料模塊和機械手臂；

所述上料模塊用于存儲待勻膠的襯底；所述機械手臂用于傳遞所述待勻膠的襯底至所述勻膠模塊中的勻膠吸片臺上。

10.根據權利要求9所述自動勻膠設備，其特征在于，還包括：固化模塊，所述固化模塊包括熱盤和冷盤；

所述機械手臂還用于將所述襯底在所述勻膠吸片臺、所述熱盤和所述冷盤之間傳遞，所述熱盤用于烘烤固化所述襯底上的膠體，所述冷盤用于冷卻所述熱盤固化完成的襯底。