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[實用新型]用于檢驗超大口徑凸雙曲面反射鏡的光學系統有效

專利信息
申請號: 201821638609.1 申請日: 2018-10-10
公開(公告)號: CN209446259U 公開(公告)日: 2019-09-27
發明(設計)人: 趙鵬瑋;鄭列華;張金平 申請(專利權)人: 中國科學院上海技術物理研究所
主分類號: G01M11/00 分類號: G01M11/00
代理公司: 上海滬慧律師事務所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 凸雙曲面反射鏡 球面反射鏡 超大口徑 光學系統 入射 反射 檢驗 口徑 球心 補償透鏡組 激光干涉儀 發散光線 法線方向 精度檢驗 原路返回 自準反射 反射鏡 干涉儀 后焦點 中心孔 減小 折射 保證
【權利要求書】:

1.一種用于檢驗超大口徑凸雙曲面反射鏡的光學系統,由激光干涉儀(1),補償透鏡組(2),待檢凸雙曲面反射鏡,球面反射鏡(3)組成,其特征在于:

所述的球面反射鏡(3)的球心位于待檢凸雙曲面反射鏡的后焦點上,激光干涉儀(1)發出的發散光線,從待檢凸雙曲面反射鏡的中心孔入射,經過補償透鏡組(2)的折射,入射到球面反射鏡(3)上;從球面反射鏡(3)反射的光線,再經過待檢反射鏡的反射,沿法線方向再次入射到球面反射鏡(3)上,并自準反射,按原路返回干涉儀。

2.根據權利要求1所述的一種用于檢驗超大口徑凸雙曲面反射鏡的光學系統,其特征在于:所述的球面反射鏡(3)的口徑與待檢凸雙曲面反射鏡口徑的比值不超過2。

3.根據權利要求1所述的一種用于檢驗超大口徑凸雙曲面反射鏡的光學系統,其特征在于:所述的透鏡組(2)的口徑與待檢凸雙曲面反射鏡的口徑比值不超過0.1。

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