[實用新型]重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821637204.6
• 申請日: 2018-10-10
• 公開（公告）號: CN208844225U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閆龍;王忠保
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏銀和半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B29/06
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 孫彥虎

1.一種重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件，其特征在于：包括設(shè)有上端開口的爐體，蓋接在所述爐體的上端口位置的爐蓋，所述爐體側(cè)壁具有夾層，夾層內(nèi)流通有冷卻介質(zhì)，在爐體內(nèi)安裝有主保溫氈，主保溫氈為中空筒體，主保溫氈兩端開口，所述主保溫氈外壁緊貼爐體內(nèi)側(cè)壁，在爐體內(nèi)側(cè)底部安裝有底保溫氈，主保溫氈的下端面緊貼底保溫氈上端面，在主保溫氈內(nèi)安裝有主保溫筒，主保溫筒為中空筒體，主保溫筒兩端開口，主保溫筒的外壁緊貼保溫氈內(nèi)壁，主保溫筒的下端面與底保溫氈不接觸，主保溫筒的上端面與主保溫氈的上端面平齊，在主保溫氈和主保溫筒的上端面上可拆卸的安裝有保溫環(huán)，保溫環(huán)為環(huán)形體，保溫環(huán)的下端面緊貼主保溫氈和主保溫筒的上端面，保溫環(huán)的外壁緊貼爐體內(nèi)側(cè)壁，所述保溫環(huán)頂端端面設(shè)有蓋板，所述蓋板上設(shè)有導(dǎo)流筒，導(dǎo)流筒成倒立圓臺狀，導(dǎo)流筒內(nèi)腔從上而下逐漸徑縮，主保溫筒內(nèi)腔與爐蓋內(nèi)腔通過導(dǎo)流筒內(nèi)腔連通，在主保溫氈內(nèi)還可拆卸的安裝有底保溫筒，底保溫筒為環(huán)形體，底保溫筒的下端面與底保溫氈接觸，底保溫筒的上端面與主保溫筒的下端面接觸，底保溫筒的外壁緊貼主保溫氈內(nèi)壁，底保溫氈底部中心貫穿有支撐軸，支撐軸上托舉有坩堝托盤，所述支撐軸能夠帶動坩堝托盤在豎直方向上移動，坩堝托盤上安裝有化料坩堝，化料坩堝位于導(dǎo)流筒的正下方，化料坩堝的上端面直徑大于導(dǎo)流筒的直徑，主保溫筒與化料坩堝之間安裝有側(cè)加熱器。

2.如權(quán)利要求1所述的重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件，其特征在于：所述保溫環(huán)的高度為60mm。

3.如權(quán)利要求1所述的重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件，其特征在于：在所述導(dǎo)流筒內(nèi)側(cè)底端蓋合有保溫蓋，所述保溫蓋包括吊桿、蓋體，所述吊桿、蓋體均采用高純石墨制成，吊桿的上端通過鎢制籽晶繩與籽晶夾頭固定連接，吊桿的上端與蓋體中心可拆卸連接，蓋體水平蓋合在導(dǎo)流筒內(nèi)側(cè)底端，蓋體的外徑小于導(dǎo)流筒下端內(nèi)壁的直徑。

4.如權(quán)利要求3所述的重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件，其特征在于：所述蓋體包括頂蓋、上蓋、下蓋，下蓋為圓形板，上蓋、頂蓋均為圓臺狀，下蓋的上端面與上蓋的下端面直徑相等，上蓋的上端面的直徑大于頂蓋的下端面的直徑，吊桿為柱狀，頂蓋、上蓋、下蓋的中心位置分別設(shè)置有第一安裝孔、第二安裝孔、第三安裝孔，第一安裝孔、第二安裝孔、第三安裝孔分別貫通下蓋、上蓋、頂蓋的上端面和下端面，第一安裝孔、第二安裝孔、第三安裝孔的內(nèi)徑均等于吊桿的外徑，頂蓋的上端面直徑等于第三安裝孔的內(nèi)徑，吊桿的下端依次穿過第三安裝孔、第二安裝孔、第一安裝孔，以將頂蓋、上蓋、下蓋固定套裝于吊桿上，第三安裝孔、第二安裝孔、第一安裝孔的內(nèi)環(huán)壁均與吊桿的外環(huán)壁密封連接。

5.如權(quán)利要求4所述的重?fù)戒R單晶高氧含量高壽命熱場部件，其特征在于：所述下蓋的上端面與上蓋的下端面不接觸，以在下蓋和上蓋之間形成環(huán)形空隙。