[實用新型]一種測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821635072.3
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN209400421U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設計）人: 黃田野;趙翔
• 申請（專利權）人: 中國地質大學（武漢）
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552
• 代理公司: 武漢知產時代知識產權代理有限公司 42238
• 代理人: 龔春來

1.一種測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置，其特征在于：所述測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置沿光傳播方向上依次包括：激光器、準直物鏡、偏振器、傳感器、檢偏器、聚焦物鏡和光譜儀，所述傳感器從下到上依次包括耦合棱鏡、Au膜、Cytop膜、TiO₂膜和傳感介質；

所述激光器輸出激光經所述準直物鏡后輸出平行光，所述平行光通過所述偏振器后得到橢圓偏振光，所述橢圓偏振光照射到所述傳感器的所述耦合棱鏡上，透過耦合棱鏡入射面進入所述Au膜反射面并被反射，經耦合棱鏡出射面后出射，由所述橢圓偏振光的p偏振與s偏振分量在所述傳感器里產生相位差，同時在所述耦合棱鏡和Au膜上激發(fā)表面等離子體共振模式，在所述Cytop膜、TiO₂膜和傳感介質激發(fā)平面波導模式，表面等離子體共振模式和平面波導模式耦合產生Fano共振光譜，包含所述Fano共振光譜的橢圓偏振光通過所述檢偏器后經所述聚焦物鏡聚焦，由所述光譜儀接收以進行分析處理。

2.根據權利要求1所述的測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置，其特征在于：所述耦合棱鏡為SF10棱鏡，所述激光器采用波長為632.8nm的He-Ne激光器。

3.根據權利要求1所述的測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置，其特征在于：所述Cytop膜的厚度為400-900nm，所述TiO₂膜的厚度為60-130nm。

4.根據權利要求1所述的測量Fano共振傳感器檢測極限的裝置，其特征在于：所述Au膜的厚度為50nm。