[實用新型]一種高精度稀釋配氣儀

有效

• 申請號: 201821633589.9
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN208943860U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 劉乙;顧潮春;趙玲寶;楊森;翁萌萌
• 申請（專利權）人: 江蘇春潮科技發展有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F15/04
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 湯志武

1.一種高精度稀釋配氣儀，包括氣體流路和液體流路，其特征在于所述氣體流路和液體流路與高溫汽化混合裝置連接；所述氣體流路包括稀釋氣口、配比氣口和與其相對應的兩個氣體質量流量控制器MFC，稀釋氣與配比氣分別通過兩個氣體質量流量控制器MFC經匯流后，通過標準氣口進入高溫汽化混合裝置；所述液體流路包含液體入口、蠕動泵和與其對應的液體質量流量計MFM，蠕動泵抽取液體經液體質量流量計MFM后進入高溫汽化混合裝置；所述高溫汽化混合裝置包括耐高溫殼體，耐高溫殼體內有混合腔，混合腔設有出口，混合腔的上部設有PEEK噴頭，液體由噴頭上端進入，高壓氣體由噴頭側面進入，高壓氣體與液體碰撞產生霧化，再經噴頭進入高溫混合腔進行充分混合。

2.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，氣體流路的管路及高溫汽化裝置的混合腔內壁均采用經鈍化處理的不銹鋼材質。

3.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，液體流路的管路采用PEEK毛細管，毛細管的內徑1mm。

4.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，氣體質量流量控制器MFC為熱式質量流量控制器，準確度為±0.1%F.S.。

5.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，液體質量流量計MFM采用科里奧利式流量計，準確度為±0.2%F.S.。

6.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，高溫汽化混合裝置設有加熱與控溫裝置。

7.根據權利要求1所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，還包括設定單元與微處理單元，設定單元用于設定配置參數及開關機，配制參數包括稀釋比例、氣體種類及流量，設定單元聯接微處理單元，微處理單元與兩個氣體質量流量控制器MFC、液體質量流量計MFM、蠕動泵以及高溫汽化混合裝置的控溫裝置聯接。

8.根據權利要求7所述的高精度稀釋配氣儀，其特征在于，設定單元包括可觸控顯示屏。