[實用新型]一種硅片支撐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821628736.3
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN208868795U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發(fā)明（設計）人: 王會;劉品德;朱速鋒;戴向榮
• 申請（專利權）人: 蘇州南北深科智能科技有限公司
• 主分類號: B65G17/38
• 分類號: B65G17/38;B65G17/46
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);郝彩華

1.一種硅片支撐裝置，其特征在于：包括支撐座和固定設置在所述支撐座上的擋桿組件，所述擋桿組件包括至少兩根擋桿，至少兩根所述擋桿均固定設置在所述支撐座的表面上，所述擋桿之間設置有容放硅片的間隔，位于所述間隔兩端的所述擋桿之間形成一銳角。

2.根據(jù)權利要求1所述的硅片支撐裝置，其特征在于：位于所述間隔一端的至少一根所述擋桿的延伸方向與固定所述擋桿的所述支撐座的表面相垂直。

3.根據(jù)權利要求2所述的硅片支撐裝置，其特征在于：與固定所述擋桿的所述支撐座的表面傾斜相交的所述擋桿的長度大于與固定所述擋桿的所述支撐座的表面垂直相交的所述擋桿的長度。

4.根據(jù)權利要求1~3中任一項所述的硅片支撐裝置，其特征在于：每根所述擋桿上均套設有第一套管，所述第一套管由特氟龍材料制成。

5.根據(jù)權利要求4所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述第一套管分別套設在每根所述擋桿的整個外表面，或者所述第一套管分別套設在每根所述擋桿的兩端部。

6.根據(jù)權利要求1所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述支撐裝置還包括固定設置在所述支撐座上的支撐桿，所述支撐桿沿與所述支撐座的表面成銳角的方向延伸，且所述銳角的開口朝向垂直于所述支撐座的表面設置的一根所述擋桿，所述硅片放置在所述支撐桿上。

7.根據(jù)權利要求6所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述支撐桿上套設有第二套管，所述第二套管由特氟龍材料制成。

8.根據(jù)權利要求6所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述支撐座上設置有鏤空區(qū)域，所述擋桿和所述支撐桿均固定設置在所述支撐座的非鏤空區(qū)域處。

9.根據(jù)權利要求1所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述支撐座上固定設置有多組所述擋桿組件，每片硅片通過兩組所述擋桿組件固定，每組所述擋桿組件包括兩根所述擋桿。

10.根據(jù)權利要求1所述的硅片支撐裝置，其特征在于：所述支撐座的兩端部分別設置有用于與干燥爐的傳輸鏈條連接的連接部。