[實用新型]一種應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821628689.2
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209131361U
• 公開（公告）日: 2019-07-19
• 發(fā)明（設計）人: 王會;劉品德;朱速鋒;戴向榮
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州南北深科智能科技有限公司
• 主分類號: F26B25/00
• 分類號: F26B25/00;F16H7/06
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛(wèi);郝彩華

1.一種應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，包括傳輸鏈條，其特征在于：所述傳輸鏈條上固定設置有用于立式放置硅片的支撐裝置，所述傳動裝置還包括主動輪和從動輪，所述主動輪和所述從動輪均能夠轉(zhuǎn)動地設置，所述傳輸鏈條套設在所述主動輪和所述從動輪上，所述傳輸鏈條分別與所述主動輪和所述從動輪相嚙合，所述傳動裝置還包括用于驅(qū)動所述主動輪轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置包括驅(qū)動電機、主驅(qū)動輪、從驅(qū)動輪及驅(qū)動鏈條，所述主驅(qū)動輪和所述從驅(qū)動輪均能夠轉(zhuǎn)動地設置，所述驅(qū)動電機驅(qū)動所述主驅(qū)動輪轉(zhuǎn)動，所述驅(qū)動鏈條分別與所述主驅(qū)動輪和所述從驅(qū)動輪相嚙合，所述驅(qū)動裝置還包括驅(qū)動軸，所述從驅(qū)動輪與所述驅(qū)動軸固定連接，所述主動輪固定設置在所述驅(qū)動軸上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：所述從驅(qū)動輪和所述主動輪均套設在所述驅(qū)動軸上并能夠繞所述驅(qū)動軸的軸心線轉(zhuǎn)動地設置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：所述傳動裝置還包括設置在所述主動輪與所述從動輪之間的張緊輪，所述張緊輪分別與所述傳輸鏈條相嚙合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：所述傳動裝置還包括導軌組件，所述導軌組件支撐在所述傳輸鏈條的下方，所述傳輸鏈條與所述導軌組件相配合并能夠沿所述導軌組件的長度延伸方向傳輸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：所述導軌組件包括支撐在下部的所述傳輸鏈條下的第一導軌組件，所述第一導軌組件包括多段第一導軌，多段第一導軌沿同一直線延伸方向順序設置，位于下部的所述傳輸鏈條分別與各段所述第一導軌配合并能夠沿所述第一導軌的長度延伸方向傳輸，相鄰兩段所述第一導軌之間設置有間隔，所述間隔位置處設置有導向輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：所述支撐裝置包括支撐座和固定設置在所述支撐座上的擋桿組件，所述擋桿組件包括至少兩根擋桿，至少兩根所述擋桿均固定設置在所述支撐座的表面上，所述擋桿之間設置有容放硅片的間隔，位于所述間隔兩端的所述擋桿之間形成一銳角。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：位于所述間隔一端的至少一根所述擋桿的延伸方向與固定所述擋桿的所述支撐座的表面相垂直，且與固定所述擋桿的所述支撐座的表面傾斜相交的所述擋桿的長度大于與固定所述擋桿的所述支撐座的表面垂直相交的所述擋桿的長度。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應用于HIT及HJT工藝的干燥爐傳動裝置，其特征在于：每根所述擋桿上均套設有第一套管，所述第一套管由特氟龍材料制成，所述第一套管分別套設在每根所述擋桿的整個外表面，或者所述第一套管分別套設在每根所述擋桿的兩端部。