[實用新型]一種用于半導體廠房的潔凈室

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821626296.8
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN209324038U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設計）人: 張曉雪
• 申請（專利權）人: 上海雙宜環(huán)境科技有限公司
• 主分類號: E04H1/12
• 分類號: E04H1/12;B01D46/12;B01D53/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于半導體廠房的潔凈室，包括室體(1)、過濾板(10)、HEPA濾板(12)和活性炭板(13)，其特征在于，所述室體(1)內壁底部設置有空心支撐座(7)，所述空心支撐座(7)上表面設置有U型板(18)，所述U型板(18)內壁一側設置有吸氣管(5)，所述U型板(18)內壁另一側設置有連接管(17)，且連接管(17)一端與吸氣管(5)連接，所述吸氣管(5)外壁一側與連接管(17)外壁一側均設置有若干個吸塵嘴(6)，所述U型板(18)內壁頂端設置有風機A(4)，所述吸氣管(5)另一端穿過室體(1)通過接頭(8)與進氣管(9)連接，所述進氣管(9)另一端設置有除塵柜(16)，所述除塵柜(16)內壁兩側均設置有U型卡板(11)，所述過濾板(10)通過U型卡板(11)上的U型槽與U型卡板(11)間隙連接，所述HEPA濾板(12)通過U型卡板(11)上的U型槽與U型卡板(11)間隙連接，所述活性炭板(13)通過U型卡板(11)上的U型槽與U型卡板(11)間隙連接，所述過濾板(10)位于HEPA濾板(12)下方，所述HEPA濾板(12)位于活性炭板(13)下方，所述除塵柜(16)后端面上設置有出氣管(15)，所述出氣管(15)內部設置有風機B(14)，所述室體(1)內壁頂部設置有LED節(jié)能燈(19)。

2.根據權利要求1所述的一種用于半導體廠房的潔凈室，其特征在于，所述室體(1)前端面上設置有門框(20)，所述門框(20)前端面上設置有安全門(22)，所述U型板(18)位于門框(20)的后端面上，所述安全門(22)前端面上設置有安全鎖(21)。

3.根據權利要求1所述的一種用于半導體廠房的潔凈室，其特征在于，所述除塵柜(16)前端面上設置有柜門(24)，所述柜門(24)前端面上設置有柜鎖(23)。

4.根據權利要求1所述的一種用于半導體廠房的潔凈室，其特征在于，所述出氣管(15)一端設置有防護網(25)。

5.根據權利要求1所述的一種用于半導體廠房的潔凈室，其特征在于，所述室體(1)由外殼(2)和保溫層(3)組合而成，所述保溫層(3)設置在外殼(2)的內壁上。