[實(shí)用新型]一種掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821625924.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN208937906U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐文權(quán)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州仕元光電股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/64
• 分類號(hào): G03F1/64
• 代理公司: 廣州德科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44381
• 代理人: 萬振雄;林玉旋

1.一種掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，包括掩膜版、保護(hù)膜和用于固定保護(hù)膜的框架，掩膜版上設(shè)有圖案區(qū)域，其特征在于，所述框架由多根首尾相連的邊框構(gòu)成，每根所述邊框包括兩個(gè)相互平行的第一面和第二面，所有所述邊框的所述第一面共面組成所述框架的第一支撐面，所有所述邊框的所述第二面共面組成所述框架的第二支撐面，所述框架的所述第一支撐面支撐在所述掩膜版上，所述保護(hù)膜支撐在所述框架的所述第二支撐面上，所述保護(hù)膜和所述框架圍成的空間覆蓋所述掩膜版的所述圖案區(qū)域，所述邊框的位于所述框架內(nèi)側(cè)的面設(shè)有沿所述邊框長度方向布置的內(nèi)凹的弧形槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述邊框的位于所述框架外側(cè)的面也設(shè)有沿所述邊框長度方向布置的內(nèi)凹的弧形槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述邊框的橫截面為兩側(cè)分別帶有弧形內(nèi)凹缺口的方形面，所述弧形內(nèi)凹缺口即為邊框上的弧形槽的橫截面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述邊框的橫截面的兩個(gè)所述弧形內(nèi)凹缺口對(duì)稱布置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述框架為方形框。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜版的防塵保護(hù)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述掩膜版、框架和保護(hù)膜之間為粘合連接。