[實用新型]一種偏置射頻匹配器及其漏液檢測系統和半導體設備

有效

• 申請號: 201821622978.1
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209026525U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 薛榮華;闞保國;劉家樺;葉日銓
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種偏置射頻匹配器，用于半導體設備上，其特征在于，包括殼體、導流管，所述殼體內設置有待降溫單元及冷卻液管路，所述冷卻液管路用于將所述待降溫單元降溫，所述殼體的底部開設有泄漏孔，所述導流管的進口端密封連接于所述泄漏孔靠近外側的一端，所述導流管用于導流通過所述泄漏孔流出的液體，所述導流管的出口端置于一容置單元內；

且所述泄漏孔的水平高度高于所述導流管的出口端的水平高度，所述容置單元具有一用于容置所述導流管流出的液體的容置腔。

2.如權利要求1所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述導流管為軟管。

3.如權利要求2所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述軟管為塑膠軟管或金屬軟管。

4.如權利要求1所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的數量為一個或多個。

5.如權利要求4所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的數量為多個，且所述殼體的底部上相鄰兩個所述泄漏孔之間開設有一個導流槽，所述導流槽的一端連接于一個所述泄漏孔，另一端連接于另一個所述泄漏孔。

6.如權利要求4所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述泄漏孔的數量為多個，且所述殼體的底部上相鄰兩個所述泄漏孔之間開設有多個導流槽，每個所述導流槽的一端連接于一個所述泄漏孔，另一端連接于另一個所述泄漏孔。

7.如權利要求5或6所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述導流槽沿垂直于所述殼體的底部的一端面方向上的投影形狀為條形、S形或弧形。

8.如權利要求1所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述導流管的一端與所述殼體通過膠劑膠接。

9.如權利要求1所述的一種偏置射頻匹配器，其特征在于，所述待降溫單元為電容。

10.一種偏置射頻匹配器的漏液檢測系統，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的一種偏置射頻匹配器、以及漏液探測單元、電磁閥和控制器；

所述漏液探測單元位于所述容置腔的底部，所述漏液探測單元用于檢測所述殼體內是否發生漏液；

所述漏液探測單元的信號輸出端與所述控制器連接；

所述電磁閥用于控制所述冷卻液管路的開閉；

所述控制器用于接收所述漏液探測單元輸出的信號，并根據所述信號控制所述電磁閥的通斷。

11.如權利要求10所述的一種偏置射頻匹配器的漏液檢測系統，其特征在于，還包括閥門、主機及人機交互界面，所述電磁閥為氣動電磁閥；

所述漏液探測單元信號輸出端與所述控制器的第一信號輸入端連接；

所述控制器的信號輸出端與所述氣動電磁閥的信號輸入端連接；

所述控制器的信號輸出端與所述主機的信號輸入端連接；

所述主機的信號輸出端與所述控制器的第二信號輸入端連接；

所述氣動電磁閥與所述閥門通過管路連接；

所述閥門與所述冷卻液管路相連接；

所述人機交互界面連接于所述主機；

若所述漏液探測單元監測到漏液現象：

則所述控制器接收所述漏液探測單元的信號輸出端反饋的信息，并傳遞至所述主機，所述主機在所述人機交互界面顯示報警信息；

所述主機發送漏液信號至所述控制器，所述控制器發送閥門切斷信號至所述氣動電磁閥，所述氣動電磁閥控制所述閥門關閉。

12.如權利要求11所述的一種偏置射頻匹配器的漏液檢測系統，其特征在于，所述控制器為控制電路板或PLC控制器。

13.一種半導體設備，其特征在于，包括如權利要求10-12任一項所述的一種偏置射頻匹配器的漏液檢測系統。

14.如權利要求13所述的一種半導體設備，其特征在于，還包括一射頻車，所述容置單元為所述射頻車。