[實用新型]用于原子層沉積裝置的雙層門體組件有效
| 申請號： | 201821622977.7 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN208883987U | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 李丙科;陳慶敏 | 申請（專利權）人： | 無錫松煜科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/455 | 分類號： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王闖;葛莉華 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 門板 調節板 驅動氣缸 雙層門體 原子層沉積裝置 本實用新型 安裝空間 外側面 側面 導桿 連接調節板 連接桿連接 滑動設置 活動穿設 門板運動 腔室結構 所在平面 加熱板 連接桿 密封性 小腔室 正投影 小腔 配合 室內 | ||
1.一種用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，包括第一門板和第二門板，所述第一門板包括內側面和外側面，所述第二門板位于所述內側面一側且和所述第一門板間隔形成安裝空間，所述第二門板在所述內側面所在平面上的正投影位于所述內側面上，
位于所述安裝空間內的所述內側面上設置有加熱板，
連接桿活動穿設所述第一門板連接所述第二門板，所述外側面上設置有導桿，調節板滑動設置在所述導桿上，所述連接桿連接所述調節板，
所述調節板和所述外側面之間設置有驅動氣缸，所述驅動氣缸連接所述調節板。
2.根據權利要求1所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述第二門板遠離所述第一門板的一側設置有密封圈。
3.根據權利要求1所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述加熱板通過固定桿和所述內側面間隔設置。
4.根據權利要求3所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述固定桿上設置有反射屏，所述加熱板設置在所述反射屏上。
5.根據權利要求4所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述加熱板完全位于所述反射屏上。
6.根據權利要求1所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述第一門板和所述調節板之間的所述連接桿上套設有波紋管，所述波紋管和所述第一門板、所述調節板固定連接，所述波紋管可伸縮。
7.根據權利要求1所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述導桿末端設置有限位塊，所述導桿上設置有限位板，所述限位板和所述限位塊之間設置有彈簧墊圈。
8.根據權利要求1所述的用于原子層沉積裝置的雙層門體組件，其特征在于，所述驅動氣缸為薄形氣缸。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
