[實用新型]一種乙硼烷的尾氣處理裝置有效
| 申請號： | 201821616109.8 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN208911771U | 公開（公告）日： | 2019-05-31 |
| 發明（設計）人： | 陳國富;龔施健;彭王生;鄭亞平 | 申請（專利權）人： | 博純材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/18 | 分類號： | B01D53/18 |
| 代理公司： | 泉州市博一專利事務所 35213 | 代理人： | 洪淵源;鄭庭山 |
| 地址： | 362617 福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 預處理桶 乙硼烷 尾氣處理裝置 吸收塔 出氣管 處理液 尾氣 方便操作 攪拌器 進氣管 排放量 倒出 維護 | ||
【權利要求書】：
1.一種乙硼烷的尾氣處理裝置，包括一個吸收塔，其特征在于：所述吸收塔的前端還設有一個預處理桶，該預處理桶內裝有乙硼烷處理液，所述預處理桶上設有一個進氣管和一個出氣管，所述出氣管與所述吸收塔的下部連接，所述預處理桶內還設有一個攪拌器。
2.如權利要求1所述的一種乙硼烷的尾氣處理裝置，其特征在于：所述預處理桶上設有一個可拆卸的密封蓋，所述進氣管和出氣管均連接在所述密封蓋上，所述預處理桶上設有一個透明觀察窗。
3.如權利要求1所述的一種乙硼烷的尾氣處理裝置，其特征在于：所述吸收塔下部裝有乙硼烷處理液，該吸收塔的上部設有數個噴淋頭，所述吸收塔外部還設有一循環水泵，所述循環水泵的進水端與所述吸收塔底部連接，循環水泵的出水端與所述噴淋頭連接，所述吸收塔的頂部還設有排氣風機。
4.如權利要求1所述的一種乙硼烷的尾氣處理裝置，其特征在于：所述吸收塔中部平行間隔布置有若干層帶孔隔板，每個帶孔隔板內填滿有帶孔吸附球。
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