[實用新型]一種拋光液管路機構及拋光機

有效

• 申請號: 201821615134.4
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208880398U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 鄔興國;黃誠;譚瓊
• 申請（專利權）人: 深圳市諾峰光電設備有限公司
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/00;F17D1/08
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 李健威;陳衛

1.一種拋光液管路機構，其特征在于，包括上方的接液盤、下方的拋光盤和多條輸液管，所述接液盤和拋光盤之間通過所述多條輸液管連通，所述多條輸液管的出液口均勻地開設在所述拋光盤的研磨面上。

2.根據權利要求1所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述多條輸液管的出液口在所述拋光盤上繞所述拋光盤的圓心呈等角偏置分布。

3.根據權利要求1或2所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述多條輸液管包括多條第一輸液管和多條第二輸液管，所述多條第一輸液管的第一出液口均位于所述拋光盤的第一圓周上，所述多條第二輸液管的第二出液口均位于所述拋光盤的第二圓周上，且所述第一圓周和第二圓周均與所述拋光盤共圓心。

4.根據權利要求3所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述第一圓周的半徑大于所述第二圓周的半徑，所述第一圓周上具有的第一出液口的數量多于所述第二圓周上具有的第二出液口的數量。

5.根據權利要求4所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述第一圓周上具有的第一出液口的數量是所述第二圓周上具有的第二出液口的數量的兩倍。

6.根據權利要求3所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述拋光盤等分為多個扇形區域，不同扇形區域內具有的第一出液口的數量均相等，以及具有的第二出液口的數量均相等。

7.根據權利要求3所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述第一圓周上的多個第一出液口均分為多個第一出液口組，所述第二圓周上的多個第二出液口均分為多個第二出液口組，多個第一出液口組和多個第二出液口組之間交替分布。

8.根據權利要求1所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述拋光盤等分為多個扇形區域，所述多條輸液管的出液口在每個扇形區域上分布的數量相等。

9.根據權利要求1所述的拋光液管路機構，其特征在于，所述接液盤包括中心接液槽和環形供液槽，所述中心接液槽和環形供液槽之間相連通；所述多條輸液管的進液口均開設在所述環形供液槽上。

10.一種拋光機，其特征在于，包括權利要求1-9中任一所述的拋光液管路機構。