[實用新型]單晶爐石英坩堝的升降裝置

有效

• 申請號: 201821615086.9
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209368386U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 高玉順;馬成寶;蘇鑫;宋生宏;陳云;韓生才
• 申請（專利權）人: 陽光能源（青海）有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/06
• 代理公司: 成都熠邦鼎立專利代理有限公司 51263
• 代理人: 張晨光

本實用新型公開了單晶爐石英坩堝的升降裝置，它包括單晶爐（1）和石英坩堝（2），所述單晶爐（1）的底部開設有導向孔，單晶爐（1）的下方設置有油缸（3），油缸（3）的活塞桿（16）向上貫穿導向孔且延伸于單晶爐（1）內，活塞桿（16）的頂部固設有平臺（4），平臺（4）的頂表面上且位于其左右側分別固設有鉸鏈座（5）和墊塊（6），平臺（4）的上方設置有坩堝托盤（15），坩堝托盤（15）的左端部鉸接于鉸鏈座（5）上，坩堝托盤（15）的右端部支撐于墊塊（6）頂表面。本實用新型的有益效果是：結構緊湊、能夠快速取出單晶硅液、能夠升降石英坩堝、操作簡單。

技術領域

本實用新型涉及石英坩堝升降及取出單晶硅液的技術領域，特別是單晶爐石英坩堝的升降裝置。

背景技術

石英坩堝具有純度高、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點，應用越來越廣泛。石英坩堝是生產單晶硅的單晶爐中的重要部件。然而，現有的單晶爐中，石英坩堝固定安裝在單晶爐內，石英坩堝在豎直方向的高度無法進行調節，給后期清洗或維修石英坩堝帶來了不便，因為工人需要在單晶爐中進行操作，而單晶爐內操作空間狹小，給工人的工作帶來了不便。此外，當石英坩堝內單晶硅液量較少時，析出的單晶硅液體位于石英坩堝內較低的位置，且單晶硅液流動慢，造成單晶硅液取出速度慢。因此亟需能夠快速取出單晶硅液、能夠升降石英坩堝的裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的缺點，提供一種結構緊湊、能夠快速取出單晶硅液、能夠升降石英坩堝、操作簡單的單晶爐石英坩堝的升降裝置。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：單晶爐石英坩堝的升降裝置，它包括單晶爐和石英坩堝，所述單晶爐的底部開設有導向孔，單晶爐的下方設置有油缸，油缸的活塞桿向上貫穿導向孔且延伸于單晶爐內，活塞桿的頂部固設有平臺，平臺的頂表面上且位于其左右側分別固設有鉸鏈座和墊塊，平臺的上方設置有坩堝托盤，坩堝托盤的左端部鉸接于鉸鏈座上，坩堝托盤的右端部支撐于墊塊頂表面，所述石英坩堝固設于坩堝托盤頂部，石英坩堝的右側外壁上設置有L板，L板的水平板位于石英坩堝的正上方，水平板上開設有通孔，水平板的頂表面上固設有連通通孔的螺母，該裝置還包括噴管，噴管的外壁上設置有外螺紋，噴管與螺母螺紋連接且向下貫穿通孔設置。

所述單晶爐的底部設置有多個支撐腿。

所述坩堝托盤的右端面上固設有抬板。

所述坩堝托盤的頂表面上設置有凹槽，所述石英坩堝的下端部設置于凹槽內。

所述活塞桿與導向孔滑動配合。

所述石英坩堝的右側外壁上開設有卡槽，所述卡槽內插裝有卡板，所述L板的垂直板焊接于卡板上。

本實用新型具有以下優點：1、本實用新型的單晶爐的下方設置有油缸，油缸的活塞桿向上貫穿導向孔且延伸于單晶爐內，活塞桿的頂部固設有平臺，平臺上設置有石英坩堝，在停產需要清洗或維修石英坩堝時，工人向油缸的無桿腔中通入液壓油，活塞桿沿著導向孔向上運動，活塞桿將平臺向上頂起，進一步的將石英坩堝舉到高處，此時工人站在單晶爐的頂表面上對石英坩堝進行清洗或維修，相比傳統在單晶爐內進行操作，具有更大的操作空間，方便了工人的操作。2、本實用新型的石英坩堝的右側外壁上設置有L板，噴管的外壁上設置有外螺紋，噴管與螺母螺紋連接且向下貫穿通孔設置，當石英坩堝旋轉到一定角度后，停止給抬板施力并保持坩堝托盤位置不變，隨后利用鼓風機向噴管的頂部通入空氣流，空氣流朝向石英坩堝底表面吹，以驅趕單晶硅液，從而加快單晶硅液的流動，顯著提高單晶硅液的取出速度。

附圖說明

圖1 為本實用新型的結構示意圖；

圖2 為圖1的I部局部放大視圖；

圖3 為本實用新型的工作示意圖；