[實用新型]一種應用于MEMS力敏感器件的二級應力隔離結構

有效

• 申請號: 201821615013.X
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209024198U
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發明（設計）人: 張晶;蘇巖;劉雨東
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 張祥

1.一種應用于MEMS力敏感器件的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，包括外部框架結構(14)以及設置在外部框架結構(14)內的力敏感結構(9)，所述外部框架結構(14)包括內框架(15)，所述內框架(15)的上下兩端分別通過至少一個應力集中梁(12)與對應的應力衰減梁(13)連接，所述應力衰減梁(13)通過多個柔性連接(11)與位于柔性連接(11)內部的固定錨點(10)相連。

2.根據權利要求1所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述柔性連接(11)由U型梁或弓形梁構成。

3.根據權利要求1或2所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述內框架(15)的上端通過上應力集中梁(12a)與上端左應力衰減梁(13a)和上端右應力衰減梁(13b)連接，所述內框架(15)的下端通過下應力集中梁(12b)與下端左應力衰減梁(13c)和下端右應力衰減梁(13d)連接，上端左應力衰減梁(13a)的末端內部設置上端左柔性連接(11a)與上端左固定錨點(10a)相連接，上端右應力衰減梁(13b)的末端內部設置上端右柔性連接(11b)與上端右固定錨點(10b)相連接，下端左應力衰減梁(13c)的末端內部設置下端左柔性連接(11c)與下端左固定錨點(10c)相連接，下端右應力衰減梁(13d)的末端內部設置下端右柔性連接(11d)與下端右固定錨點(10d)相連接。

4.根據權利要求3所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述力敏感結構(9)是諧振式加速度計、諧振式陀螺儀或諧振式壓力傳感器的敏感結構。

5.根據權利要求4所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述柔性連接(11)為多邊形結構，所述多邊形結構的每條邊為水平或垂直的。

6.根據權利要求5所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述柔性連接(11)為正方形結構。

7.根據權利要求1所述的二級應力隔離結構(3)，其特征在于，所述二級應力隔離結構(3)的材料為硅。