[實(shí)用新型]一種電流檢測電路及多晶硅還原爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821614502.3 | 申請日: | 2018-09-30 |
| 公開(公告)號: | CN208805539U | 公開(公告)日: | 2019-04-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 譚兵 | 申請(專利權(quán))人: | 四川英杰電氣股份有限公司 |
| 主分類號: | G01R19/00 | 分類號: | G01R19/00;G01R31/02;G01R31/12;C01B33/035 |
| 代理公司: | 四川力久律師事務(wù)所 51221 | 代理人: | 馮精恒;李正 |
| 地址: | 618000 四*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電極 電源開關(guān) 還原爐 電流檢測器件 電源 檢測 電阻 電流檢測電路 電源開關(guān)控制 多晶硅還原爐 本實(shí)用新型 開關(guān)組 供電 硅粉 沉積 還原爐內(nèi)壁 電源連接 還原爐體 接觸狀態(tài) 單獨(dú)地 多晶硅 硅棒 停機(jī) 誤報 保證 | ||
1.一種電流檢測電路,其特征在于,包括第一電源開關(guān)、第二電源開關(guān)、開關(guān)組、電流檢測器件和檢測電阻;其中,所述第一電源開關(guān)用于控制第一電源為還原爐內(nèi)的電極供電;所述第二電源開關(guān)用于控制第二電源為還原爐內(nèi)的電極供電;所述檢測電阻的一端分別通過所述第一電源開關(guān)和所述第二電源開關(guān)與第一電源和第二電源連接,其另一端與還原爐體連接;所述開關(guān)組中的每個開關(guān)分別連接一個還原爐內(nèi)的電極,用于單獨(dú)地控制第一電源為相應(yīng)的電極供電;而且,所述電流檢測器件用于檢測所述檢測電阻所在線路上通過的電流;通過所述電流檢測器件檢測到的電流,來判斷還原爐內(nèi)相應(yīng)的電極與還原爐體之間的絕緣狀態(tài),以及判斷還原爐內(nèi)的電極處于硅粉沉積狀態(tài)還是硅棒與還原爐內(nèi)壁接觸狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的電流檢測電路,其特征在于,還包括用于控制所述第一電源開關(guān)、所述第二電源開關(guān)和所述開關(guān)組的開關(guān)狀態(tài)的控制模塊。
3.如權(quán)利要求2所述的電流檢測電路,其特征在于,所述控制模塊與所述電流檢測器件連接。
4.如權(quán)利要求3所述的電流檢測電路,其特征在于,所述控制模塊根據(jù)所述電流檢測器件檢測到的電流,計算出絕緣電阻,再根據(jù)該絕緣電阻的大小,確定還原爐內(nèi)相應(yīng)的電極與還原爐體之間的絕緣狀態(tài)。
5.如權(quán)利要求3所述的電流檢測電路,其特征在于,所述控制模塊通過計算所述電流監(jiān)測器件檢測的之前的電流信號與當(dāng)前電流信號之間的變化幅度,確定還原爐內(nèi)的電極處于硅粉沉積狀態(tài)還是硅棒與還原爐內(nèi)壁接觸狀態(tài)。
6.一種多晶硅還原爐,其特征在于,包括第一電源、第二電源以及如權(quán)利要求2~5任一項所述的電流檢測電路。
7.如權(quán)利要求6所述的多晶硅還原爐,其特征在于,所述第一電源的輸出特性呈高電壓小電流,所述第二電源的輸出特性呈低電壓大電流。
8.如權(quán)利要求6所述的多晶硅還原爐,其特征在于,還包括報警模塊,用于根據(jù)所述控制模塊的控制,發(fā)出報警提示。
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