[實用新型]多功能磁耦合驅動器及使用該驅動器的真空設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821613821.2
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208723762U
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設計）人: 白紅帥
• 申請（專利權）人: 鄭州科銳真空設備有限公司
• 主分類號: H02K49/00
• 分類號: H02K49/00;F04B35/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 趙娟

本實用新型涉及多功能磁耦合驅動器及使用該驅動器的真空設備，耦合驅動器包括安裝管，安裝管的端部設有用于與真空腔體密封連接的安裝法蘭，安裝管內部設置有傳動軸，傳動軸的端部設置有夾頭，傳動軸上設置有第一受力件和第二受力件,安裝管上設有用于驅動傳動軸向前動作及啟閉夾頭的第一磁耦合驅動結構，安裝管上還設有用于驅動傳動軸向后動作及旋轉夾頭的第二耦合驅動結構。傳動軸可以在安裝管的內部前后動作，第一磁耦合驅動結構可以帶動傳動軸與夾頭一起向前動作且能夠使夾頭打開和閉合，第二磁耦合驅動結構可以帶動傳動軸和夾頭一起轉動且能夠帶動傳動軸和夾頭一起轉動。使得該驅動器具有多種功能于一身，很好的滿足了實際生產中的需要。

技術領域

本實用新型涉及真空設備上用的驅動器,具體涉及一種多功能磁耦合驅動器及使用該驅動器的真空設備。

背景技術

在真空鍍膜、半導體以及航空航天領域均會用到真空設備，真空設備一般包括真空腔體和設置于真空腔體上的驅動器，傳統(tǒng)的驅動器一般為機械式的驅動器，采用電機或驅動缸的方式作為動力輸出，但是該方式導致驅動器體積較大，重量較大，而且在工作時電機或驅動缸產生的振動會導致驅動器與真空腔體之間的密封不嚴等問題。而且采用電機或驅動缸導致整個驅動器的體積較大，安裝不方便，尤其對于一些空間狹小的地方。

授權公告號為CN 204546080 U的中國實用新型專利公開了一種磁耦合真空直線旋轉驅動器，包括手柄、強磁卡套、外部主管路、內部移動管路和角度調節(jié)器，手柄設置于強磁卡套上，結構簡單，在操作時通過手柄移動強磁卡套即可帶動內部移動管路的移動，解決了上述問題而且整個驅動器通過真空法蘭與真空腔體完成密封連接。但是該驅動器功能單一，只能進行水平方向上的移動，無法旋轉傳動軸進行夾頭的角度調節(jié)等，無法滿足實際生產中多動作的要求。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種多功能磁耦合驅動器，以解決現(xiàn)有技術中的驅動器功能單一無法滿足實際生產中多工作的要求；同時，本實用新型的目的還在于提供一種使用該驅動器的真空設備。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的多功能磁耦合驅動器采用如下技術方案：多功能磁耦合驅動器，包括安裝管，安裝管的端部設置有用于與真空腔體密封連接的安裝法蘭，所述安裝管內部設置有傳動軸，傳動軸的端部設置有夾頭，傳動軸上設置有導磁的第一受力件和第二受力件,安裝管上與第一受力件對應設置有用于驅動傳動軸向前動作及啟閉夾頭的第一磁耦合驅動結構，安裝管上與第二受力件對應設置有用于驅動傳動軸向后動作及旋轉夾頭的第二耦合驅動結構。

所述傳動軸包括沿前后方向依次設置的傳動軸第一部分和傳動軸第二部分，傳動軸第一部分上設置有所述第一受力件，第一磁耦合驅動結構包括套設于安裝管外側的與第一受力件對應的第一強磁卡套，傳動軸第二部分上設置有所述第二受力件，第二磁耦合驅動結構包括套設于安裝管外側的與第二受力件對應的第二強磁卡套，各強磁卡套內部設置有磁鐵。

所述安裝管的外側上于第一強磁卡套和第二強磁卡套之間設置有隔離套以保證第一強磁卡套和第一受力件位置對應以及第二強磁卡套和第二受力件位置對應。

所述傳動軸第二部分為空心軸結構，第一磁耦合驅動結構還包括設置于傳動軸第二部分內部的轉軸，傳動軸第一部分和傳動軸第二部分之間通過連接套連接，傳動軸第一部分轉動設置于連接套中，傳動軸第二部分與連接套連接在一起，以實現(xiàn)前后方向上力的傳遞；轉軸連接于傳動軸第一部分上以隨傳動軸第一部分一起轉動，傳動軸第二部分的端部連接有夾頭套管，夾頭套管內部沿其軸向導向移動設置有導向套，導向套與轉軸螺紋配合連接，夾頭包括通過銷軸鉸接在一起的第一夾頭部分和第二夾頭部分，各夾頭部分上均設置有與夾頭套管鉸接的第一鉸接孔，導向套上設置有與所述銷軸對應的第二鉸接孔以使第一夾頭部分、第二夾頭部分以及導向套三者通過通一銷軸鉸接在一起。

各強磁卡套均包括環(huán)形外殼和設置于環(huán)形外殼內部的安裝板，安裝板沿周向間隔設置有多個供磁鐵安裝的安裝孔，環(huán)形外殼的前后兩端設置有外殼擋環(huán)。

所述外殼擋環(huán)上沿周向設置有刻度條。