[實用新型]管路清潔裝置

有效

• 申請號: 201821611683.4
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208976428U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 何文;薛超;吳龍江;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B08B9/04
• 分類號: B08B9/04
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種管路清潔裝置，包括第一動片組及驅動第一動片組轉動的第一馬達、第二動片組及驅動第二動片組轉動的第二馬達、聯軸器及集塵袋，其中，第一動片組與第一馬達相連接；第二動片組與第二馬達相連接；聯軸器連接于第一動片組與第二動片組之間；集塵袋位于第二動片組的下方；第一動片組和第二動片組均包含若干個動片及與若干個動片一一對應連接的清潔刷頭，清潔刷頭在管路清潔作業過程中與管路的內壁相接觸。采用本實用新型的管路清潔裝置定期對管路進行清潔，可避免管路內壁的污染物殘留，提高管路的清潔度，從而有效避免粉塵倒灌引發的生產事故，有效提高干泵的使用壽命，降低生產成本。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，特別是涉及一種管路清潔裝置。

背景技術

半導體芯片制造過程中，尾氣排放是一個非常重要的工作，不同的制程腔室連接至不同的排氣管路，并通過泵體將制程反應過程中及反應后產生的殘留氣體及/或反應副產物排出以進行無害化處理。這其中，化學氣相沉積工藝和擴散工藝的尾氣排放工作量尤其突出，因為化學氣相沉積工藝和擴散工藝產生的殘留氣體和反應副產物非常多，這些殘留氣體和反應副產物在經過排氣管路的過程中容易粘附在排氣管路的內壁，造成管路污染，使得干泵排放功率增大，能源消耗增多，而且附著于管路內壁的污染物很可能脫落并掉入干泵內，導致干泵堵塞，更嚴重的情況還會導致干泵報廢，引發廢氣倒灌回制程腔室中，造成嚴重的生產事故和巨大的經濟損失。因此，對排氣管路進行定期清潔以去除附著于管路內壁的殘留物非常重要，但是已有的各種管路清潔裝置都存在各種問題，比如公開號為CN108253228A的專利申請中公開的一種用于解決管道清潔的機器人利用動力組件搭載6塊電機運動組件并放置于管道中，通過特殊材料噴射旋轉清潔液以達到清潔目的，但是這種清潔機器人存在著無刷洗組件、清潔完后管壁殘留污染物、粉塵散落無法集塵以及不能用于彎管等問題；而公開號為CN108212972A的專利申請中公開的一種管道內清潔裝置以及管道清潔機器人利用驅動機構調試管道尺寸，通過搭載3塊可伸縮連接桿連接2塊清潔刷頭組件以提供旋轉動力達到清潔目的，但該裝置存在著后端驅動組件無法達到平衡，沒有支撐點、清潔完后管壁殘留污染物、粉塵散落無法集塵以及同樣不能用于彎管等問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種管路清潔裝置，用于解決現有技術中的管路清潔裝置無法集塵、清潔作業完成后管壁殘留污染物、以及不能用于彎管清潔等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種管路清潔裝置，包括第一動片組及驅動所述第一動片組轉動的第一馬達、第二動片組及驅動所述第二動片組轉動的第二馬達、聯軸器及集塵袋，其中，所述第一動片組與所述第一馬達相連接；所述第二動片組與所述第二馬達相連接；所述聯軸器連接于所述第一動片組與所述第二動片組之間；所述集塵袋位于所述第二動片組的下方；所述第一動片組和所述第二動片組均包含若干個動片及與若干個所述動片一一對應連接的清潔刷頭，所述清潔刷頭在管路清潔作業過程中與管路的內壁相接觸。

可選地，所述集塵袋的表面設置有清潔頭，所述清潔頭沿所述集塵袋的周向均勻分布且暴露出所述集塵袋的開口。

可選地，所述集塵袋還包括篩網，位于所述集塵袋內，所述篩網的一側與所述清潔頭相連接。

可選地，所述集塵袋的橫截面尺寸自頂部向底部逐漸減小，所述篩網的縱向最大高度小于所述集塵袋的縱向最大高度。

可選地，所述第二馬達位于所述第二動片組的正下方，且所述第二馬達通過一支撐軸的支撐立于所述集塵袋的上方。

可選地，所述第一馬達、所述第二馬達和所述聯軸器位于一殼體內，所述第一動片組和所述第二動片組位于所述殼體的外圍，所述集塵袋位于所述殼體的下方。

可選地，所述第一動片組和所述第二動片組包含的動片數量相同，所述第一動片組的動片和所述第二動片組的動片沿所述殼體均勻間隔分布。