[實用新型]一種新型埋入式氣柜

有效

• 申請號: 201821608808.8
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN209604880U
• 公開（公告）日: 2019-11-08
• 發明（設計）人: 施勝利;陳菊;徐力
• 申請（專利權）人: 至礫機電設備(上海)有限公司
• 主分類號: F17B1/02
• 分類號: F17B1/02
• 代理公司: 上海宣宜專利代理事務所(普通合伙) 31288
• 代理人: 劉君

本實用新型涉及半導體生產技術領域，具體地說是一種新型埋入式氣柜，其特征在于，包括：上方開口的柜體，所述柜體的對稱的兩側壁上分別設有沿水平方向均布的若干通孔，每個通孔中分別設有一個穿板管夾；真空接頭，安裝在柜體底板的下部；用于安裝氣柜組件的安裝面板，其安裝在柜體底板的上部，所述安裝面板上設有若干平行設置的通風孔；柜門，蓋合在柜體的開口上，且所述柜門的一側邊鉸接在柜體一側壁的靠近上側邊處；本實用新型和現有技術相比，采用埋入式設計，柜體安裝完成后完全埋入地下，能夠大量節省占地面積，柜門的抗擊打能力強，能夠完全保證工作現場的安全使用需求，真空接頭從柜下安裝，保證了柜面的平整。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產技術領域，具體地說是一種新型埋入式氣柜。

背景技術

目前，隨著我國半導體產業的快速發展和國家政策的有力支持，各類高新技術產業，如芯片等行業進入高速發展時期，伴隨著行業發展的同時，大量特氣柜被使用，如何在有限的廠房空間內布置足夠我們生產所需的氣柜，成為當下亟待解決的問題。以前只能對廠房和普通的氣柜尺寸進行限制，但普通的氣柜安裝在地面上占據空間大。現代社會寸土寸金，因此當氣柜的安放空間很大時，不僅會讓公司為建設較大生產車間而產生資金壓力，還會造成空間的浪費得不償失。

而且，普通的氣柜門窗強度不夠好，普通的氣柜柜窗用的是夾絲玻璃，強度不夠好。當工作人員不注意，拿工具碰到窗口時就會打壞玻璃，輕者窗戶損壞，重者內部的閥門管路也會遭到重創，造成不必要的損失。

因此，現有技術還有待發展。

實用新型內容

鑒于上述現有技術的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種新型埋入式氣柜。旨在解決現有的氣柜占地面積過大，安全性差的問題。

為了達到上述目的，本實用新型采取了以下技術方案：

本實用新型提供一種新型埋入式氣柜，其特征在于，包括：

上方開口的柜體，所述柜體的對稱的兩側壁上分別設有沿水平方向均布的若干通孔，每個通孔中分別設有一個穿板管夾；

真空接頭，安裝在柜體底板的下部；

用于安裝氣柜組件的安裝面板，其安裝在柜體底板的上部，所述安裝面板上設有若干平行設置的通風孔；

柜門，蓋合在柜體的開口上，且所述柜門的一側邊鉸接在柜體一側壁的靠近上側邊處。

進一步的，與鉸接側相鄰的柜門的兩側邊上分別設有用于打開柜門的凹槽，靠近凹槽處的柜門下表面上固定連接彈簧支架的一端，所述彈簧支架的另一端鉸接在柜體的一側壁上。

進一步的，其特征在于，所述安裝面板的四角處分別通過所述螺栓與所述柜體的底板栓接。

進一步的，所述柜體的頂邊呈向外翻折的直角槽，所述柜門的邊沿擱置在直角槽內，所述柜門的底面與直角槽之間設有密封墊。

進一步的，所述直角槽的頂邊向外垂直翻折后再向下垂直翻折形成安裝槽。

進一步的，開合側的柜門的上表面上設有用來控制柜門開關的卡鎖，與所述卡鎖對應的柜體的側壁上設有與卡鎖配合的卡片。

進一步的，所述彈簧支架的一端與柜門下表面之間還固定有彈簧支架固定架。

進一步的，所述通孔內嵌設有螺母，所述穿板管夾的端頭與所述螺母螺紋連接。

進一步的，位于同一側邊的若干所述穿板管夾旁的柜體側壁上還開設有若干進線口。

進一步的，所述柜門采用PC板材，柜門上表面上還固定有機器編碼牌。