[實用新型]測試裝置

有效

• 申請號: 201821607524.7
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208921835U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本公開涉及測試技術領域，尤其涉及一種測試裝置。所述裝置包括：測試基板，用于放置集成電路并對所述集成電路進行測試，以獲取所述集成電路的測試數據；解析鏡頭，與所述測試基板相對設置，用于掃描所述集成電路的封裝體上的識別碼，以使處理器解析所述識別碼并根據解析結果與所述測試數據判斷所述識別碼的正確性。本公開減少了掃描時間，提高了掃描效率，從而提高了識別碼的驗證效率，同時節省了時間成本和人力成本。

技術領域

本公開涉及測試技術領域，尤其涉及一種測試裝置。

背景技術

集成電路的生產過程包括芯片生產階段以及封裝階段，其中，在封裝階段需要將集成電路的芯片進行封裝，并在封裝體上打印識別碼以識別芯片，最后對封裝后的芯片進行測試。

但是，在實際的生產過程中，由于工作的疏忽，可能會存在封裝體上的識別碼打印錯誤的現象。因此，為了驗證封裝體上的識別碼是否打印正確，在對封裝后的芯片進行測試的階段中，首先對封裝體上的識別碼進行掃描，并通過解析該識別碼得到芯片在芯片生產過程中的各項數據，例如，測試數據、制成數據等，然后，對封裝后的芯片進行測試，得到封裝后的芯片的測試數據，最后，將封裝后的芯片的測試數據與芯片生產階段中的芯片的測試數據進行比對，若比對成功，則說明該識別碼正確，若比對不成功，則說明該識別碼不正確。

目前，在上述驗證識別碼的正確性的過程中，由于采用人工的方式掃描封裝體上的識別碼，因此，存在識別碼驗證效率低，人力成本高的問題。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本公開的目的在于提供一種測試裝置，進而至少在一定程度上克服由于采用人工的方式描識識別碼使的識別碼驗證效率低，人力成本高的問題。

根據本公開的一個方面，提供一種測試裝置，包括：

測試基板，用于放置集成電路并對所述集成電路進行測試，以獲取所述集成電路的測試數據；

解析鏡頭，與所述測試基板相對設置，用于掃描所述集成電路的封裝體上的識別碼，以使處理器解析所述識別碼并根據解析結果與所述測試數據判斷所述識別碼的正確性。

在本公開的一種示例性實施例中，所述測試裝置還包括：

機械手臂，用于抓取所述集成電路，并將所述集成電路放置在所述測試基板上。

在本公開的一種示例性實施例中，所述測試基板包括一個測試位置，所述測試位置能夠放置一個所述集成電路；所述測試基板用于對所述測試位置處的所述集成電路進行測試，以得到所述測試位置處的所述集成電路的測試數據。

在本公開的一種示例性實施例中，所述解析鏡頭為一個且與所述測試位置相對設置。

在本公開的一種示例性實施例中，所述測試基板包括多個測試位置，各所述測試位置均能夠放置一個所述集成電路，所述測試基板用于同時對各所述測試位置處的所述集成電路進行測試，以同時獲取各所述測試位置處的所述集成電路的測試數據。

在本公開的一種示例性實施例中，所述解析鏡頭的數量與所述測試位置的數量相同，且所述解析鏡頭與所述測試位置一一對應，各所述解析鏡頭與對應的所述測試位置相對設置。

在本公開的一種示例性實施例中，所述解析鏡頭能夠相對于所述測試基板移動。

在本公開的一種示例性實施例中，所述裝置還包括：

鏡頭移動軌道，用于控制所述解析鏡頭在所述鏡頭移動軌道中移動。

在本公開的一種示例性實施例中，所述解析鏡頭采用可拆卸的方式設置在所述鏡頭移動軌道中。