[實(shí)用新型]一種激光劃片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821606757.5
• 申請(qǐng)日: 2018-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208977072U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林金明;林靜;張曉宇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫恒領(lǐng)科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/36
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/36;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 浙江杭知橋律師事務(wù)所 33256
• 代理人: 王梨華;陳麗霞

1.一種激光劃片裝置，其特征在于：包括工作臺(tái)(2)，工作臺(tái)(2)包括下平臺(tái)(203)和上平臺(tái)(201)，下平臺(tái)(203)上設(shè)有上平臺(tái)(201)，上平臺(tái)(201)上設(shè)有Z軸運(yùn)動(dòng)模組(12)和折射鏡固定板(11)，Z軸運(yùn)動(dòng)模組(12)上設(shè)有多焦點(diǎn)聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)，折射鏡固定板(11)上設(shè)有第一反射鏡(16)和第二反射鏡(19)，上平臺(tái)(201)上還設(shè)有劃片激光器(9)、第一反射鏡組(6)、裂片激光器(10)和第二反射鏡組(15)，第一反射鏡組(6)用于接收劃片激光器(9)發(fā)射的激光，第一反射鏡(16)用于接收第一反射鏡組(6)的反射光，第二反射鏡組(15)用于接收裂片激光器(10)發(fā)射的激光，第二反射鏡(19)用于接收第二反射鏡組(15)的反射光；下平臺(tái)(203)上設(shè)有X/Y軸運(yùn)動(dòng)模組(8)，X/Y軸運(yùn)動(dòng)模組(8)上設(shè)有載物臺(tái)(7)，載物臺(tái)(7)位于多焦點(diǎn)聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)的下方；X/Y軸運(yùn)動(dòng)模組(8)包括X軸運(yùn)動(dòng)模組(801)和Y軸運(yùn)動(dòng)模組(802)，X軸運(yùn)動(dòng)模組(801)設(shè)置在下平臺(tái)(203)上，X軸運(yùn)動(dòng)模組(801)上設(shè)有Y軸運(yùn)動(dòng)模組(802)，Y軸運(yùn)動(dòng)模組(802)上設(shè)有載物臺(tái)(7)，X軸運(yùn)動(dòng)模組(801)上設(shè)有第一光柵尺(8011)，第一光柵尺(8011)用于監(jiān)測(cè)X軸運(yùn)動(dòng)模組(801)的位移數(shù)據(jù)，Y軸運(yùn)動(dòng)模組(802)上設(shè)有第二光柵尺(8021)，第二光柵尺(8021)用于監(jiān)測(cè)Y軸運(yùn)動(dòng)模組(802)的位移數(shù)據(jù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光劃片裝置，其特征在于：Z軸運(yùn)動(dòng)模組(12)上還設(shè)有定位板(17)，多焦點(diǎn)聚焦頭(18)和激光裂片聚焦頭(20)設(shè)置在定位板(17)上，定位板(17)上還設(shè)有第一通孔(1701)和第二通孔(1702)，第一反射鏡(16)的反射光穿過(guò)第一通孔(1701)后被多焦點(diǎn)聚焦頭(18)接收，第二反射鏡(19)的反射光穿過(guò)第二通孔(1702)后被激光裂片聚焦頭(20)接收。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光劃片裝置，其特征在于：第一反射鏡組(6)包括第三反射鏡(4)和第四反射鏡(5)，第三反射鏡(4)用于接收劃片激光器(9)發(fā)射的激光，第四反射鏡(5)用于接收第三反射鏡(4)的反射光，第一反射鏡(16)用于接收第四反射鏡(5)的反射光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光劃片裝置，其特征在于：第二反射鏡組(15)包括第五反射鏡(13)和第六反射鏡(14)，第五反射鏡(13)用于接收裂片激光器(10)發(fā)射的激光，第六反射鏡(14)用于接收第五反射鏡(13)的反射光，第二反射鏡(19)用于接收第六反射鏡(14)的反射光。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光劃片裝置，其特征在于：工作臺(tái)(2)上設(shè)有鋼構(gòu)機(jī)架(3)，鋼構(gòu)架構(gòu)包括墊腳(305)、下框架(304)、底板(303)、立柱(302)和上框架(301)，墊腳(305)上設(shè)有下框架(304)，下框架(304)通過(guò)立柱(302)與上框架(301)連接，上框架(301)與工作臺(tái)(2)連接，下框架(304)上設(shè)有底板(303)；工作臺(tái)(2)為大理石制成的工作臺(tái)(2)，墊腳(305)的數(shù)量為4個(gè)，立柱(302)的數(shù)量為4個(gè)。