[實用新型]勻膠顯影機的冷卻裝置

有效

• 申請號: 201821605513.5
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208796024U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 丁桃寶;劉毅
• 申請（專利權）人: 蘇州晉宇達實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

1.一種勻膠顯影機的冷卻裝置，包括若干塊冷板，每塊冷板上均設置有冷卻通道，該冷卻通道與冷卻液供應系統連通，其特征在于：每個冷板均與獨立的冷卻液供應系統連通，每個冷卻液供應系統均包括冷卻液供應箱、熱交換器、供液泵，所述冷卻液供應箱內儲存有冷卻液，所述熱交換器設置有第一換熱通道和第二換熱通道，所述供液泵的進液管伸入到冷卻液供應箱內，所述供液泵的出液管與熱交換器的第一換熱通道的入口連通，所述第一換熱通道的出口與冷板上的冷卻通道的入口連通，所述冷卻通道的出口通過回流管道與冷卻液供應箱的內腔連通，所述熱交換器的第二換熱通道與換熱液供應系統連通，所述冷卻裝置還包括補液箱和補液泵，所述補液箱內存放有冷卻液，所述補液泵的進液管伸入到補液箱內，所述補液泵的出液口分別通過補液管與各冷卻液供應箱連通，冷卻液供應箱的內壁上設置有補液傳感器、補液停止傳感器和溫度傳感器，所述補液傳感器和補液停止傳感器均與補液泵的控制器連接。

2.如權利要求1所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻液供應箱的內部位于補液傳感器的下方還設置有漏液傳感器，該漏液傳感器與補液泵的控制器連接，所述控制器與蜂鳴器連接。

3.如權利要求2所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述補液管的出口處伸入到冷卻液供應箱內的內部，該補液管的出口段設置有浮球閥。

4.如權利要求1至3任一項所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述冷板上的冷卻通道包括水平冷卻通道和三維冷卻通道，所述水平冷卻通道包括順次相連的水平直線延伸段和半圓弧形過渡段，所述水平直線延伸段和半圓弧形過渡段相連形成了蛇形彎曲狀，所述冷板的一側面設置有與水平冷卻通道連通的第一進液口和第一出液口；所述三維冷卻通道包括若干組上橫向直線延伸段和下橫向直線延伸段、上縱向延伸連接段、下縱向延伸連接段、尾端上下連接段，所述尾端上下連接段連接將每組上橫向直線延伸段和下橫向直線延伸段的尾端連接，所述上縱向連接段將相鄰組的上橫向直線延伸段的首端連接，所述下縱向連接段將相鄰組的下橫向直線延伸段的首端連接，所述上縱向連接段和下縱向連接段之間錯位設置，所述上縱向連接段從上方橫跨水平直線延伸段，所述下縱向連接段從下方橫跨水平直線延伸段，所述冷板的一側面設置有與三維冷卻通道連通的第二進液口和第二出液口；所述第一進液口和第二進液口與所述第一換熱通道的出口連通，所述第一出液口和第二出液口與所述回流管道連通。

5.如權利要求4所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述每組上橫向直線延伸段和下橫向直線延伸段均位于兩水平直線延伸段之間。

6.如權利要求5所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述三維冷卻通道集中位于冷板的中部。

7.如權利要求6所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述回流管道上設置有壓力傳感器。

8.如權利要求7所述的一種勻膠顯影機的冷卻裝置，其特征在于：所述冷板上彈性安裝有用于檢測硅片的接觸式溫度傳感器。