[實用新型]一種勻膠顯影機的供液裝置

有效

• 申請號: 201821605511.6
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208796026U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 丁桃寶;吳嘯
• 申請（專利權）人: 蘇州晉宇達實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

本實用新型公開了一種勻膠顯影機的供液裝置，包括供液箱，供液裝置還包括兩個緩存罐，緩存罐均通過供液管路與供液箱的進液口連通，供液管路包括兩段主進液管段和兩段分出液管段，兩個主進液管段伸入到對應緩存罐底部，分出液管段的另一端分別與對應的進液口連通；緩存罐的頂部設置有進氣口，該進氣口的下端處于緩存罐的液面的上方，進氣口與供液壓縮空氣系統連通，供液箱內的上部和下部分別設置有上液位傳感器和下液位傳感器，上液位傳感器、下液位傳感器、電磁閥、供液壓縮空氣系統的動力源均與控制器電連接。該供液裝置在加液時不會帶入雜質，同時兩個緩存罐相互切換使用可延長補液的時間。

技術領域

本實用新型涉及一種供液裝置，尤其涉及一種勻膠顯影機的供液裝置。

背景技術

在半導體行業中，光刻和顯影是兩個重要的步驟，顯影過程在顯影機上完成，顯影過程就是將曝光后的光刻膠中與紫外光發生化學反應的部分取出或保留下來的過程，顯影的基本過程是：對準曝光(光刻機)→曝光后烘→顯影→堅膜→顯影檢測。而勻膠顯影機需要對曝光后烘干的硅片降溫到23℃左右，而目前的勻膠顯影機先通過多個冷板對硅片冷卻，冷卻后的硅片才通過顯影液顯影。

而目前的勻膠顯影機的顯影液是儲存在設備內部的供液箱中，顯影液在工作時持續使用，一般在供液箱內設置了液位傳感器用來檢測供液箱內的顯影液量，當量不夠時，需要打開設備內的供液箱的箱蓋，然后手工添加，或者是通過輸送泵將外置的緩存罐內的的顯影液輸送給供液箱內部。

然利用輸送泵進行輸送可能引入一些雜質，這樣影響了硅片的顯影效果。另外緩存罐在補液時也不方便，需要頻繁補液。

另外，由于氣候的變化，因此顯影液的溫度可能有波動，而硅片在顯影時需要顯影液與硅片的溫度保持基本一致，因此，當天氣寒冷時，顯影液由于相對長的一段時間處于緩存罐中，這樣溫度會降低，因此也會影響顯影的效果。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是：提供一種勻膠顯影機的供液裝置，該供液裝置在加液時不會帶入雜質，同時兩個緩存罐相互切換使用可延長補液的時間。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：一種勻膠顯影機的供液裝置，包括設置于勻膠顯影機中的供液箱，所述供液箱上設置有進液口，所述供液裝置還包括兩個緩存罐，每個緩存罐均通過供液管路與供液箱的進液口連通，所述供液管路包括兩段主進液管段和兩段分出液管段，兩個主進液管段一一對應伸入到對應緩存罐底部，每段分出液管段的一端均與兩段主進液管段連通，分出液管段的另一端分別與對應的進液口連通；所述兩段主進液管段上分別設置有電磁閥，所述緩存罐的頂部設置有進氣口，該進氣口的下端處于緩存罐的液面的上方，所述進氣口與供液壓縮空氣系統連通，所述供液箱內的上部和下部分別設置有上液位傳感器和下液位傳感器，上液位傳感器、下液位傳感器、電磁閥、供液壓縮空氣系統的動力源均與控制器電連接。

作為一種優選的方案，所述供液壓縮空氣系統的動力源為供液壓縮機，該供液壓縮空氣系統包括惰性氣體存儲罐，惰性氣體存儲罐的出氣口和緩存罐的進氣口之間設置有供液壓縮空氣供入管道連通，該供液壓縮機設置于供液壓縮空氣供入管道上。

作為一種優選的方案，所述緩存罐的頂部設置有安全泄壓閥。

作為一種優選的方案，所述供液裝置還包括補液裝置，該補液裝置用于向緩存罐內補充顯影液。

作為一種優選的方案，所述補液裝置包括儲液罐，該儲液罐內儲存有顯影液，該儲液罐和兩個緩存罐之間設置有補液管路，該補液管路包括補液主管段和兩個補液分管段，補液主管段伸入到儲液罐的底部，兩個補液分管段分別于緩存罐連通，該補液分管段上均設置有電磁閥，所述儲液罐的上部設置有進氣口，該進氣口與補液壓縮空氣系統連通。

作為一種優選的方案，所述補液壓縮空氣系統包括補液壓縮機和惰性氣體存儲罐，惰性氣體存儲罐的出氣口和儲液罐上部的進氣口之間設置有補液壓縮空氣供入管道連通，該補液壓縮機設置于補液壓縮空氣供入管道上。