[實用新型]一種離心燒結制造靶材的裝置

有效

• 申請號: 201821598675.0
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208920851U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 陳欽忠;陳寶忠;林志河;蔡小勇;邱樹將
• 申請（專利權）人: 福建阿石創新材料股份有限公司
• 主分類號: F27B14/06
• 分類號: F27B14/06;F27B14/08;C04B35/64;C04B35/453;C04B35/46;C04B35/457;C04B35/495
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王海燕

本實用新型公開了一種離心燒結制造靶材的裝置，包括外殼體、設置于所述外殼體內部的電阻加熱套、模具和驅動電機，其中，所述模具設置于所述電阻加熱套的內部加熱腔內，所述模具底部設置有一旋轉底座，所述驅動電機設置于所述外殼體底部，所述驅動電機的轉動軸與所述旋轉底座連接；所述外殼體的首端設置為開合門結構，通過所述開合門能夠實現所述加熱腔的開合；本實用新型提供的離心燒結制造靶材的裝置能夠制造出高密度管靶材，節省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。

技術領域

本實用新型涉及旋轉靶材制造裝置，特別是涉及一種離心燒結制造靶材的裝置。

背景技術

隨著全球電子信息產業快速發展，智能手機、平板電腦、汽車電子等終端消費領域的需求也持續增長，薄膜材料的使用越來越頻繁，國內高純靶材年復合增長率持續增長，這就為國內濺射靶材行業提供了廣闊的發展空間。

目前，靶材根據形狀外觀可劃分為旋轉靶材和平面靶材，而在旋轉靶材的分類中，諸如ITO、AZO等旋轉靶材是通過一節或多節原料管綁定在不銹鋼或是鈦背管上。且在現有的原料管制作中，主要是先將原料燒結或者鑄造成一個實心大錠子，再用金剛石鉆孔機對材料進行中間掏孔，最后進行拋光修整。這種方法優點是運用范圍廣，幾乎所有的材料都可以通過此類方法加工進行掏孔；但是目前這種靶材的加工制作方法存在以下缺陷：

1、材料浪費大，由于靶材對純度要求極高，很難對屑料進行回收，成本高；

2、工序繁瑣，生產周期長、效率低；

3、對加工精度要求極高、產品良率較難保證。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種離心燒結制造靶材的裝置，以解決上述現有技術存在的問題，能夠制造出高密度管靶材，節省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。

為實現上述目的，本實用新型提供了如下方案：

本實用新型提供一種離心燒結制造靶材的裝置，包括外殼體、設置于所述外殼體內部的電阻加熱套、模具和驅動電機，其中，所述模具設置于所述電阻加熱套的內部加熱腔內，所述模具底部設置有一旋轉底座，所述驅動電機設置于所述外殼體底部，所述驅動電機的轉動軸與所述旋轉底座連接；所述外殼體的首端設置為開合門結構，通過所述開合門能夠實現所述加熱腔的開合。

優選地，所述外殼體底部還設置有一支撐座，所述支撐座頂部周向設置有多個支撐板，所述支撐板頂端與所述外殼體底部焊接固定。

優選地，所述支撐座頂部中心處還設置有一電機箱，所述電機箱內部為電機室，所述驅動電機設置于所述電機室內。

優選地，所述電機箱的箱體上周向設置有多個散熱口，且所述電機箱的箱體上還設置有電源線。

優選地，所述轉動軸、所述旋轉底座和所述模具同軸心。

優選地，所述模具內部頂端設置有一溫度傳感器。

優選地，所述開合門底部的所述外殼體上依次設置有電源開關、溫度調節旋鈕和電機轉速調節旋鈕。

優選地，所述開合門為一合頁門，包括設置于所述外殼體一側的合頁、設置于所述外殼體另一側的門鎖以及由部分所述外殼體和部分所述電阻加熱套構成的門體，所述合頁門的門體上還設置有一門把手。

優選地，所述電阻加熱套由內部到外部依次包括加熱電阻絲層、隔熱層和保溫層，其中所述加熱電阻絲層內部鑲嵌有加熱電絲。

優選地，所述模具為高強多孔隙Al₂O₃陶瓷模具，所述旋轉底座為鎢合金底座，所述驅動電機為高速馬達電機。

本實用新型相對于現有技術取得了以下有益技術效果：