[實用新型]一種用于原位電子背散射衍射研究的樣品夾持裝置

有效

• 申請號: 201821594953.5
• 申請日: 2018-09-29
• 公開（公告）號: CN208795678U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 劉飛;白樸存;崔曉明;侯小虎;趙學平;趙錦龍
• 申請（專利權）人: 內蒙古工業大學
• 主分類號: G01N23/20025
• 分類號: G01N23/20025
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型涉及一種用于原位電子背散射衍射研究的樣品夾持裝置。該樣品夾持裝置由兩個加載夾具和兩個固定夾具組成，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均固定在掃描電鏡中的拉伸臺上；加載夾具Ⅰ上安裝有固定夾具Ⅰ，加載夾具Ⅱ上安裝有固定夾具Ⅱ，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均包括可固定在拉伸臺上水平設置的固定端和與固定端一體式構成且呈70°夾角傾斜設置的加載端，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均分別通過螺絲和銷釘與拉伸臺相連接，兩個加載夾具通過螺絲和銷釘與固定夾具連接。本實用新型具有結構簡單，性能可靠，制作成本低，兼容性好，安裝簡便，便于操作的特點。

技術領域

本發明涉及微觀測試表征技術領域，特別地，涉及一種用于原位電子背散射衍射研究的樣品夾持裝置及測試方法。

背景技術

電子背散射衍射技術主要用來分析晶體取向信息、織構和界面結構特征等，已在多晶體固體材料微觀組織結構研究及晶體取向表征中被廣泛應用。該技術優勢在于保留了掃描電鏡的常規功能，同時給出了亞微米區域的晶體學數據，將顯微組織和晶體學分析相結合。與其他取向表征技術相比，如X 衍射和透射電子顯微分析，電子背散射衍射技術還有微區、快速等特點，更適合對實際多晶體固體材料的評價表征，是研究材料晶體學特征的一種全新手段。

原位電子背散射衍射技術可在亞微米尺度上直接觀察應力應變作用下多晶體塑性變形過程，定性的說明宏-微觀不均勻塑性變形和顯微組織與晶體學取向之間的關系，以及微裂紋萌生與擴展的晶體學特征，而且還可以定量的描述裂紋斷裂面兩側晶體的取向差，是研究材料宏觀變形行為和顯微組織織構變化的內在聯系和演變規律強有力的方法和工具。

常規的掃描電鏡原位力學實驗與原位電子背散射衍射分析實驗都需要一個力學加載裝置，通常掃描電鏡選配的拉伸臺就是典型的力學加載裝置。與常規的掃描電鏡原位力學實驗時樣品觀察表面與入射電子束是接近90°夾角不同的是，實施原位電子背散射衍射分析實驗要求樣品觀察表面與入射電子束的夾角為70°。這就要求原位電子背散射衍射分析實驗時，放置樣品的平臺與掃描電鏡的鏡筒為70°角。雖然掃描電鏡的樣品臺可以旋轉滿足這一角度要求，但是，掃描電鏡樣品室的空間大小、拉伸臺的大小以及電子背散射衍射接收探頭易碎且價格昂貴，考慮到這些因素，常規的拉伸臺很難實施原位電子背散射衍射分析實驗。目前可以滿足這一條件的商業化的產品不多，且價格昂貴，極大地阻礙了該技術的應用。

發明內容

為了克服現有實現原位電子背散射衍射分析技術的原位力學加載裝置價格昂貴、安全性低等缺點，本發明提供一種能夠兼容常見掃描電鏡中的拉伸臺的樣品夾持裝置，將該裝置安裝到掃描臺上，可以滿足原位電子背散射衍射研究中樣品的空間配置，實現利用常規掃描電鏡中的拉伸臺完成原位電子背散射衍射觀察。

本發明是這樣實現的，一種用于原位電子背散射衍射研究的樣品夾持裝置，由兩個加載夾具和兩個固定夾具組成，其中：

兩個加載夾具包括加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均固定在掃描電鏡中的拉伸臺上；加載夾具Ⅰ上安裝有固定夾具Ⅰ，加載夾具Ⅱ上安裝有固定夾具Ⅱ，固定夾具Ⅰ和固定夾具Ⅱ之間的拉伸樣品通過加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ所夾持固定在固定夾具Ⅰ和固定夾具Ⅱ之上，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ上用于夾持放置拉伸樣品的平面與水平面之間呈70°夾角，拉伸樣品的一端通過固定夾具Ⅰ固定在加載夾具Ⅰ上，拉伸樣品的另一端通過固定夾具Ⅱ固定在加載夾具Ⅱ上，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均包括可固定在拉伸臺上水平設置的固定端和與固定端一體式構成且呈70°夾角傾斜設置的加載端，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ的固定端上均分別設置有螺絲孔和定位銷釘孔，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ均分別通過螺絲和銷釘與拉伸臺相連接，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ二者的加載端內側分別設置有與兩個固定夾具的固定端呈70°夾角傾斜設置的樣品放置區，加載夾具Ⅰ和加載夾具Ⅱ二者加載端的樣品放置區按照前、后交錯的方式布置，加載夾具Ⅰ的加載端上設置有用于安裝固定夾具Ⅰ的螺絲孔和定位銷釘孔，加載夾具Ⅱ的加載端上設置有用于安裝固定夾具Ⅱ的螺絲孔和定位銷釘孔，兩個加載夾具通過螺絲和銷釘與固定夾具連接；