[實用新型]提純三氯氫硅的裝置有效
| 申請號： | 201821591464.4 | 申請日： | 2018-09-28 |
| 公開（公告）號： | CN209242692U | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 劉見華;趙雄;萬燁;嚴大洲;趙宇;常欣 | 申請（專利權）人： | 洛陽中硅高科技有限公司;中國恩菲工程技術有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 韓建偉;金田蘊 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三氯氫硅 甲基二氯硅烷 本實用新型 固液分離器 四氯化硅 反應器 提純 反應液體產物 甲基三氯硅烷 反歧化反應 反應精餾 固液分離 歧化反應 高沸點 精餾塔 絡合物 微量氧 高純 精餾 脫除 催化劑 催化 氧氣 轉化 引入 應用 | ||
1.一種提純三氯氫硅的裝置，其特征在于，包括：
反應器，用于含甲基二氯硅烷的三氯氫硅原料與四氯化硅和氧氣在催化劑的催化下進行歧化反應，
固液分離器，用于將從所述反應器中排出的反應產物進行固液分離，以及
精餾塔，用于將從所述固液分離器中排出的反應液體產物脫除雜質、輕組分和重組分。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器設置有催化劑加入口，所述固液分離器設置有固體排出口，且所述固液分離器的固體排出口與所述反應器的催化劑加入口相連通。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器為微通道連續流反應器，所述微通道連續流反應器的通道直徑為100～200微米。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器包括反應區域以及設置在所述反應區域周圍的換熱夾層。
5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器為玻璃、碳化硅、陶瓷、不銹鋼或合金材質。
6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述反應器設置有三氯氫硅進料口、四氯化硅進料口和氧氣進料口。
7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述固液分離器內部設置有分離膜，所述分離膜的固體分離精度＜50微米。
8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述分離膜的固體分離精度為1微米。
9.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精餾塔包括依次連通的脫輕塔和脫重塔。
10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述脫輕塔和脫重塔均為填料塔。
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