[實(shí)用新型]一種便于清潔的鉬板退火爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821591146.8
• 申請(qǐng)日: 2018-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN209210909U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王熠恒;劉思靜;吳亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南正豐鎢鉬光電器材有限公司
• 主分類號(hào): C22F1/18
• 分類號(hào): C22F1/18;C21D1/26;C21D9/00
• 代理公司: 鄭州浩翔專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41149
• 代理人: 靳錦

本實(shí)用新型公開一種便于清潔的鉬板退火爐，包括爐體，所述爐體內(nèi)設(shè)置有保溫墻，所述爐體底部設(shè)置有網(wǎng)板，所述網(wǎng)板底部設(shè)置有排水槽，所述排水槽一側(cè)連通有排水管，所述排水槽底部設(shè)置有水箱，所述水箱一側(cè)通過(guò)水管連通有高壓水泵，所述高壓水泵一端連通有通水管，所述通水管一側(cè)設(shè)置有電源，所述電源一側(cè)設(shè)置有制冷器，所述制冷器一側(cè)設(shè)置有加熱器，所述制冷器的制冷管伸入到水箱中，所述制冷器一側(cè)設(shè)置有制冷口，所述加熱器上設(shè)置有加熱口，所述加熱口與所述制冷口均穿過(guò)保溫墻，所述加熱器一側(cè)設(shè)置有退火爐控制箱；該種便于清潔的鉬板退火爐設(shè)計(jì)合理，能夠?qū)ν嘶馉t內(nèi)壁進(jìn)行清潔，同時(shí)還能對(duì)退火爐的控制箱進(jìn)行降溫，延長(zhǎng)退火爐的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種便于清潔的鉬板退火爐。

背景技術(shù)

鉬板很堅(jiān)硬，比鎢有韌性。鉬具有高彈性模量，鎢、鉭只具有較高的熔點(diǎn)。鉬板用于許多特種鋼。真空爐應(yīng)用，核能，導(dǎo)彈和飛機(jī)零部件。在鉬板的加工生產(chǎn)過(guò)程中需要將鉬板放入退火爐中進(jìn)行退火處理，退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。現(xiàn)有的鉬板退火爐在長(zhǎng)時(shí)間使用后，退火爐的內(nèi)壁會(huì)附著有雜質(zhì)，需要對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行清潔，但是現(xiàn)有的退火爐不具備清潔功能，使用起來(lái)不是很方便。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種便于清潔的鉬板退火爐，可以有效解決上述背景技術(shù)中的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

本實(shí)用新型一種便于清潔的鉬板退火爐，包括爐體，所述爐體內(nèi)設(shè)置有保溫墻，所述爐體底部設(shè)置有網(wǎng)板，所述網(wǎng)板底部設(shè)置有排水槽，所述排水槽一側(cè)連通有排水管，所述排水槽底部設(shè)置有水箱，所述水箱一側(cè)通過(guò)水管連通有高壓水泵，所述高壓水泵一端連通有通水管，所述通水管一側(cè)設(shè)置有電源，所述電源一側(cè)設(shè)置有制冷器，所述制冷器一側(cè)設(shè)置有加熱器，所述制冷器的制冷管伸入到水箱中，所述制冷器一側(cè)設(shè)置有制冷口，所述加熱器上設(shè)置有加熱口，所述加熱口與所述制冷口均穿過(guò)保溫墻，所述加熱器一側(cè)設(shè)置有退火爐控制箱，所述通水管一側(cè)設(shè)置有散熱塊，所述散熱塊一側(cè)設(shè)置有兩個(gè)散熱風(fēng)扇，所述通水管另一端穿過(guò)頂部的保溫墻設(shè)置有旋轉(zhuǎn)噴頭。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述高壓水泵、所述散熱風(fēng)扇、所述退火爐控制箱、所述加熱器、所述制冷器與所述電源通過(guò)電性連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述通水管呈蛇形，并通過(guò)管卡固定于退火爐控制箱、加熱器和制冷器表面。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述散熱塊通過(guò)螺絲螺母固定于退火爐控制箱、加熱器和制冷器表面，緊貼與通水管上。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述排水槽向排水管一側(cè)傾斜。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述排水管上安裝有排水閥。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述加熱口、所述制冷口上均安裝有擋板。

本實(shí)用新型所達(dá)到的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，實(shí)用性強(qiáng)，能夠?qū)ν嘶馉t內(nèi)壁進(jìn)行清潔，通水管呈蛇形，并通過(guò)管卡固定緊貼與退火爐控制箱、加熱器和制冷器表面，能夠?qū)ν嘶馉t控制箱、加熱器和制冷器進(jìn)行吸熱，并傳遞到通水管表面的散熱塊上，同時(shí)打開散熱風(fēng)扇，通過(guò)散熱風(fēng)扇將吸收的熱量排散到退火爐外，從而對(duì)退火爐控制箱、加熱器和制冷器進(jìn)行冷卻降溫，避免熱量的積聚，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。經(jīng)過(guò)通水管的冷水從旋轉(zhuǎn)噴頭噴出，并對(duì)爐體內(nèi)壁進(jìn)行沖洗，爐體內(nèi)壁的雜質(zhì)清洗干凈。

附圖說(shuō)明