[實(shí)用新型]電鍍裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821587671.2 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209052784U | 公開(公告)日: | 2019-07-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王振榮;戴志文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | C25D17/00 | 分類號(hào): | C25D17/00;C25D17/02;C25D21/18 |
| 代理公司: | 上海脫穎律師事務(wù)所 31259 | 代理人: | 李強(qiáng) |
| 地址: | 201616 *** | 國(guó)省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電鍍裝置 電鍍槽 本實(shí)用新型 儲(chǔ)液槽 電鍍液 回收槽 連通 回收管 進(jìn)液管 回收 | ||
1.一種電鍍裝置,其特征在于,包括電鍍槽、回收槽以及至少兩個(gè)儲(chǔ)液槽,兩個(gè)所述儲(chǔ)液槽分別存有不同的電鍍液且分別通過各自的進(jìn)液管與所述電鍍槽連通,所述回收槽通過回收管與所述電鍍槽連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電鍍裝置,其特征在于,所述電鍍槽包括供進(jìn)行電鍍反應(yīng)的可軸轉(zhuǎn)的內(nèi)部容腔,所述內(nèi)部容腔內(nèi)設(shè)有流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu),所述內(nèi)部容腔的底部設(shè)有入口管,所述進(jìn)液管連通于所述入口管,所述入口管與所述流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu)連通,進(jìn)而通過所述流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu)將進(jìn)入所述入口管的所述電鍍液均勻分配至所述內(nèi)部容腔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電鍍裝置,其特征在于,所述流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu)由所述內(nèi)部容腔的頂部伸入所述內(nèi)部容腔的底部,所述內(nèi)部容腔的底部設(shè)有反應(yīng)底座,所述入口管穿過所述反應(yīng)底座,通過所述反應(yīng)底座集中放置需電鍍的電子元件,所述內(nèi)部容腔的外部設(shè)有軸轉(zhuǎn)電機(jī),通過所述軸轉(zhuǎn)電機(jī)控制所述流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的軸轉(zhuǎn)啟閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電鍍裝置,其特征在于,所述流體引導(dǎo)機(jī)構(gòu)包括同軸依次連接的軸轉(zhuǎn)齒輪、碰撞塊以及微粒分配護(hù)罩,所述軸轉(zhuǎn)齒輪設(shè)于所述內(nèi)部容腔的頂端進(jìn)而與所述軸轉(zhuǎn)電機(jī)嚙合連接,所述軸轉(zhuǎn)齒輪通過連接件與所述內(nèi)部容腔固定連接進(jìn)而帶動(dòng)所述內(nèi)部容腔軸轉(zhuǎn),所述碰撞塊通過軸向連桿固設(shè)于所述內(nèi)部容腔的頂面下,所述軸向連桿的底端與所述微粒分配護(hù)罩穿設(shè)連接進(jìn)而所述微粒分配護(hù)罩間隔固定于所述碰撞塊下,進(jìn)而,所述碰撞塊以及所述微粒分配護(hù)罩通過所述軸向連桿隨所述內(nèi)部容腔同軸軸轉(zhuǎn),所述入口管的頂端與所述微粒分配護(hù)罩活動(dòng)連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電鍍裝置,其特征在于,所述內(nèi)部容腔的頂部四周設(shè)有法蘭板,所述軸轉(zhuǎn)齒輪呈環(huán)狀進(jìn)而活動(dòng)設(shè)于所述法蘭板上且圍設(shè)于所述內(nèi)部容腔的頂面四周,多個(gè)所述連接件均勻分布于所述內(nèi)部容腔的外壁。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電鍍裝置,其特征在于,所述內(nèi)部容腔的頂面安裝有可拆卸的內(nèi)部容腔蓋,所述軸向連桿的頂端固接于所述內(nèi)部容腔蓋上。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電鍍裝置,其特征在于,所述法蘭板上設(shè)有壓覆組件,所述壓覆組件壓覆于所述軸轉(zhuǎn)齒輪上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電鍍裝置,其特征在于,所述壓覆組件包括軸連桿以及箍圈,所述軸連桿固定于所述法蘭板上,所述軸轉(zhuǎn)齒輪的圓周表面設(shè)有適配于所述箍圈的凹槽,所述箍圈嵌設(shè)于所述凹槽內(nèi)進(jìn)而與所述軸轉(zhuǎn)齒輪固定連接,所述軸連桿壓覆于所述箍圈上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電鍍裝置,其特征在于,所述軸連桿包括立軸以及延伸桿,所述立軸設(shè)于所述法蘭板上,所述延伸桿的一端活動(dòng)套設(shè)于所述立軸的上部,所述延伸桿的另一端設(shè)有壓塊,所述壓塊壓覆接觸于所述箍圈上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電鍍裝置,其特征在于,所述軸連桿設(shè)有兩個(gè)且對(duì)稱設(shè)于所述法蘭板的兩對(duì)頂角處,相應(yīng)的兩個(gè)所述壓塊對(duì)稱壓覆于所述箍圈的圓周表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電鍍裝置,其特征在于,所述碰撞塊呈圓柱形,所述碰撞塊的頂端設(shè)有連接法蘭,多個(gè)所述軸向連桿穿設(shè)于所述連接法蘭上,所述碰撞塊的底面向頂面凹陷進(jìn)而形成傘狀分散區(qū)以供將由所述入口管內(nèi)噴出的所述電鍍液均勻擴(kuò)散于所述微粒分配護(hù)罩的表面。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電鍍裝置,其特征在于,所述微粒分配護(hù)罩呈飛碟狀進(jìn)而包括傾斜的上圓錐面以及下圓錐面,所述反應(yīng)底座呈圓錐狀進(jìn)而與所述微粒分配護(hù)罩相適配,所述微粒分配護(hù)罩的所述下圓錐面與所述反應(yīng)底座之間具有供沉積電鍍液微粒以及所述電子元件的空隙。
13.根據(jù)權(quán)利要求3或12所述的電鍍裝置,其特征在于,所述入口管通過軸轉(zhuǎn)連接結(jié)構(gòu)連接于所述內(nèi)部容腔的底端。
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