[實用新型]一種蒸發裝置

有效

• 申請號: 201821587458.1
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN209049041U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 徐培明
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: B01D1/00
• 分類號: B01D1/00
• 代理公司: 北京智晨知識產權代理有限公司 11584
• 代理人: 張婧

一種蒸發裝置，包括：用于容置蒸發原料、并將蒸發原料加熱成蒸汽的多個蒸發器，還包括：多個連接管以及多個分配器；蒸發裝置包含多個蒸發單元，每個蒸發器對應一個連接管以及一個分配器組成蒸發單元，每個蒸發器經由對應的連接管與對應的分配器連通，分配器包括腔體和出氣孔；連接管用于將蒸發器內的蒸汽通向分配器的腔體；分配器用于將腔體內的蒸汽從出氣孔通出。利用此種蒸發裝置進行多元共蒸發時，避免了原料的浪費。

技術領域

本實用新型涉及制造技術領域，特別涉及一種蒸發裝置。

背景技術

銅銦鎵硒薄膜是CIGS太陽能電池的吸收層，制備高效的CIGS太陽能電池的關鍵技術之一是獲得高質量的吸收層。CIGS薄膜制備的方法多種多樣，大致可歸結為真空制備技術和非真空制備技術。真空技術主要包括：多元共蒸發、濺射硒化法、分子束外延和化學氣相沉積等；非真空技術包括：電沉積、旋涂法和絲網印刷等。雖然方法多種多樣，但目前能得到高效太陽能電池的僅有濺射硒化法和多元共蒸發。

多元共蒸發，是一種將制備薄膜所需的銅、銦、鎵、硒原料在真空環境中加熱共蒸發，在玻璃基板上反應形成CIGS薄膜的工藝方法。其特點是小面積、薄膜質量好、膜厚和帶隙容易控制、電池效率高，但是大面積多元共蒸發時，對蒸發設備要求苛刻，且膜厚均勻性不好把握。在多元共蒸發工藝中，使用到的蒸發裝置設計，直接影響到蒸汽分布均勻性，進而影響膜厚均勻性。由于多元共蒸發是在硒蒸汽的氛圍下，蒸發銅，銦，鎵與硒蒸汽反應，如果局部硒蒸汽濃度太低，將不能形成有效的CIGS薄膜；局部硒蒸汽濃度太高，金屬蒸汽被過度散射，形成的薄膜厚度降低，所以硒蒸汽的均勻性就很重要，而好的蒸發裝置設計則是提高CIGS薄膜均勻性的關鍵因素。

現有技術中至少存在如下問題：目前的蒸發裝置設計一般為兩個硒蒸發器共用一個硒分配器，整個腔室共10個硒蒸發器，5個硒蒸汽分配器。兩個硒蒸發器共用一個硒分配器對于兩個硒蒸發器的平衡性要求較高，如果兩個硒蒸發器加熱功率不匹配，容易導致某一個硒蒸發器負分壓，這樣導致其原材料消耗速率明顯小于與其共用分配器的另一個硒蒸發器。這樣在另一個硒蒸發器的原材料快速耗盡時，機臺就必須停下來做維護，這樣其他蒸發源剩下的原材料將不能繼續使用，容易造成浪費。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種蒸發裝置，利用此種蒸發裝置進行多元共蒸發時，避免了原料的浪費。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種蒸發裝置，包括：用于容置蒸發原料、并將蒸發原料加熱成蒸汽的多個蒸發器，還包括：多個連接管以及多個分配器；蒸發裝置包含多個蒸發單元，每個蒸發器對應一個連接管以及一個分配器組成蒸發單元，且每個蒸發器經由對應的連接管與對應的分配器連通，分配器包括腔體和出氣孔；連接管將蒸發器內的蒸汽通向分配器的腔體；分配器將腔體內的蒸汽從出氣孔通出。

本實用新型提供了一種蒸發裝置，通過將每個蒸發器對應一個連接管以及一個分配器，且每個蒸發器經由對應的連接管與對應的分配器連通，則在加熱蒸發時不會因為加熱功率不均而出現負分壓，也就不會導致一蒸發器內原料耗盡而另一蒸發器內的原料未耗盡的情況，從而避免了原料的浪費。

可選的，分配器的上表面的橫向和縱向分別設置有多個出氣孔。通過在分配器的橫向和縱向分別設置多個出氣孔，有助于在蒸發裝置在蒸發室蒸發時，從分配器通出的蒸汽能夠均勻分布。

可選的，分配器的上表面設置的橫向的出氣孔數目與縱向的出氣孔數目相同。通過將橫向的出氣孔數目和縱向的出氣孔數目設為一致，有助于蒸汽從分配器通出后在蒸發室寬度方向和長度方向均勻分散。

可選的，還包括擋板；擋板設置在腔體內，擋板上均勻開設有出氣孔，出氣孔與分配器上表面的出氣孔交錯分布。通過在分配器內設置包含與分配器上的出氣孔交錯排布的出氣孔的擋板，有助于蒸汽在分配器內均勻分布。

可選的，擋板設置有多個，相鄰兩個擋板的出氣孔交錯分布。通過設置多個擋板，且相鄰兩個擋板的出氣孔交錯分布，進一步使分配器內的蒸汽均勻分散。