[實用新型]一種高純氬氣凈化裝置有效
| 申請號: | 201821585766.0 | 申請日: | 2018-09-28 |
| 公開(公告)號: | CN208829269U | 公開(公告)日: | 2019-05-07 |
| 發明(設計)人: | 李倩;張步云;王嘯天;徐道林 | 申請(專利權)人: | 煙臺明炬氣體股份有限公司 |
| 主分類號: | C01B23/00 | 分類號: | C01B23/00 |
| 代理公司: | 煙臺上禾知識產權代理事務所(普通合伙) 37234 | 代理人: | 劉志毅 |
| 地址: | 264000 山東省煙*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 凈化罐 處理箱 卡接式球閥 凈化裝置 罐蓋 壓力表 本實用新型 高純氬氣 電控閥 密封性 通孔 外壁 高純度氬氣 底部內壁 頂部外壁 密封法蘭 密封環境 內部安裝 內部設置 外部設置 氬氣 進氣管 內插 泄漏 | ||
1.一種高純氬氣凈化裝置,包括處理箱(1),其特征在于,所述處理箱(1)的底部內壁設有一號凈化罐(16)和二號凈化罐(14),且一號凈化罐(16)和二號凈化罐(14)的頂部外壁均開有通孔,兩個通孔均內插接有罐蓋(3),一號凈化罐(16)與罐蓋(3)的連接處和二號凈化罐(14)與罐蓋(3)的連接處均設有一號密封法蘭(4),所述一號凈化罐(16)與二號凈化罐(14)的一側外壁均設有壓力表(2),且一號凈化罐(16)位于壓力表(2)的一側外壁設有進氣管(7),二號凈化罐(14)遠離壓力表(2)的一側外壁設有出氣管,進氣管(7)和出氣管的外壁均設有卡接式球閥(9),所述處理箱(1)靠近出氣管的一側外壁設有支撐板(11),且支撐板(11)的頂部外壁設有氬氣純度檢測儀(10)。
2.根據權利要求1所述的一種高純氬氣凈化裝置,其特征在于,所述一號凈化罐(16)與二號凈化罐(14)的相對一側外壁設有輸氣管(6),且輸氣管(6)的外壁設有一號電控閥(5),處理箱(1)位于一號凈化罐(16)和二號凈化罐(14)中間的底部內壁設有支撐桿(15),且支撐桿(15)的頂部外壁設于輸氣管(6)的外壁。
3.根據權利要求1所述的一種高純氬氣凈化裝置,其特征在于,所述出氣管的外壁插接有回氣管(13),且回氣管(13)的另一端插接于二號凈化罐(14)的內部,回氣管(13)的外壁設有二號電控閥(12),凈化罐與管道的連接處均設有二號密封法蘭(8)。
4.根據權利要求1所述的一種高純氬氣凈化裝置,其特征在于,所述處理箱(1)的外壁通過合頁固定有觀察門(17),且處理箱(1)位于觀察門(17)下方的外壁設有高溫壓力控制器(18),處理箱(1)靠近高溫壓力控制器(18)的外壁設有溫度控制器(19)。
5.根據權利要求1所述的一種高純氬氣凈化裝置,其特征在于,所述一號凈化罐(16)和二號凈化罐(14)的兩側內壁均設有置物箱(20),且四個置物箱(20)的內部均填充有鋯鋁16吸氣劑(21)。
6.根據權利要求1所述的一種高純氬氣凈化裝置,其特征在于,所述氬氣純度檢測儀(10)、高溫壓力控制器(18)和溫度控制器(19)均連接有開關,且開關連接有電源。
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