[實用新型]一種水冷式射頻中和器

有效

• 申請號: 201821585266.7
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208903969U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 劉偉基
• 申請（專利權）人: 中山市博頓光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/32;H01J37/08
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 吳偉文

1.一種水冷式射頻中和器，其特征在于，包括有維持極、隔離塊、第一電極組件、第二電極組件、中空電極組件、中和器本體、水冷底盤、進水管、冷卻管、出水管以及法蘭接口；所述水冷底盤固定在所述法蘭接口上；所述水冷底盤的頂部向下凹設有冷卻槽，所述中和器本體固定安裝在所述冷卻槽內，所述維持極通過隔離塊固定設置在所述中和器本體上；所述水冷底盤的頂部于冷卻槽側邊處向下凹設有電極槽，所述第一電極組件的第一導電端穿過電極槽和中和器本體后與所述維持極的電源端電性連接，所述第一電極組件的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接；所述第二電極組件的第一導電端穿過電極槽與中和器本體的第一電源端電性連接，所述第二電極組件的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接；所述中空電極組件的第一導電端與中和器本體的第二電源端電性連接，所述第二電極組件的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接；所述水冷底盤的底部向上凹設有冷管槽；所述冷卻管固定設置在所述冷管槽內，所述進水管固定在冷卻管的進水端并與所述冷卻管連通，所述進水管固定在冷卻管的出水端并與所述冷卻管連通。

2.根據權利要求1所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述中和器本體包括有屏蔽內殼、外罩殼、導熱片、射頻線圈、螺旋罩、支撐底板以及屏蔽外殼；所述支撐底板固定設置在所述冷卻槽內；所述螺旋罩固定在所述支撐底板上并與所述螺旋罩形成有電離腔室；所述屏蔽內殼固定設置在所述支撐底板于電離腔室內壁處；所述射頻線圈環設于螺旋罩上；所述導熱片固定在所述水冷底盤于冷卻槽處；所述屏蔽內殼固定設置在所述導熱片上；所述屏蔽外殼蓋設固定在所述水冷底盤上。

3.根據權利要求2所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述第一電極組件包括有第一電極和第一電極套；所述電極槽包括有第一電極槽；所述第一電極套鑲嵌固定設置在所述第一電極槽內，所述第一電極的第一導電端穿過第一電極套、導熱片以及屏蔽外殼后與所述維持極的電源端電性連接，所述第一電極的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接。

4.根據權利要求2所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述第二電極組件包括有第二電極和第二電極套；所述電極槽包括有第二電極槽；所述第二電極套鑲嵌固定設置在所述第二電極槽內，所述第二電極的第一導電端穿過第二電極套與所述射頻線圈電性連接，所述第二電極的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接。

5.根據權利要求2所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述中空電極組件包括有中空電極和中空電極套；所述水冷底盤的頂部于冷卻槽中心處向下凹設有中空電極槽；所述中空電極套鑲嵌固定設置在所述中空電極槽內，所述中空電極的第一導電端穿過中空電極套并伸入至電離腔室內，所述中空電極的第二導電端穿過水冷底盤和法蘭接口與外部電源電性連接。

6.根據權利要求2-5中任一項權利要求所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述外罩殼的頂部設有上沿臺階，所述射頻線圈位于上沿臺階下。

7.根據權利要求6所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述螺旋罩為圓柱形腔體，所述螺旋罩于遠離中空電極組件的一端中部開設有發射孔。

8.根據權利要求7所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述螺旋罩的外側壁設有螺旋線槽，所述射頻線圈螺旋設于螺旋線槽內。

9.根據權利要求1所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述水冷式射頻中和器還包括有連接柱；所述隔離塊固定在中和器本體上，所述維持極固定在隔離塊上，所述連接柱依次穿過維持極和隔離塊后與所述第一電極電性連接。

10.根據權利要求1所述的一種水冷式射頻中和器，其特征在于：所述水冷式射頻中和器還包括有法蘭底板，所述法蘭底板固定設置在所述法蘭接口上。