[實用新型]適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構有效
| 申請號： | 201821584809.3 | 申請日： | 2018-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN209016018U | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 眭山;張德磊;顏艷明;徐晨杰;張忠賢 | 申請（專利權）人： | 上海神舟新能源發展有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/304 | 分類號： | H01L21/304;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海航天局專利中心 31107 | 代理人： | 許麗 |
| 地址： | 201112 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 線區域 垂直開槽 方形外框 水平開槽 槽線 本實用新型 激光工藝 開槽結構 預設間隔 電池 垂直槽線 電池翹曲 交替布置 水平槽線 填充因子 碎片率 | ||
1.一種適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，包括：
方形外框槽線；
設置于所述方形外框槽線內的多個水平開槽線區域和垂直開槽線區域，其中，所述水平開槽線區域和垂直開槽線區域在所述方形外框槽線內沿行和例依次交替布置，每個水平開槽線區域內包括多條按預設間隔布置的水平槽線，每個垂直開槽線區域內包括多條按預設間隔布置的垂直槽線。
2.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，所述水平開槽線區域和垂直開槽線區域的面積相同。
3.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，每條水平槽線的長度相同。
4.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，每條垂直槽線的長度相同。
5.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，水平槽線的長度與垂直槽線的長度相同。
6.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，每個水平開槽線區域內水平槽線的間距在0.8mm—1.8mm之間。
7.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，每個垂直開槽線區域內垂直槽線的間距在0.8mm—1.8mm之間。
8.如權利要求1所述的適用于薄片PERC電池激光工藝開槽結構，其特征在于，相鄰的水平槽線與垂直槽線間距在0.5mm-1.2mm之間。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
