[實用新型]大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置

有效

• 申請號: 201821576980.X
• 申請日: 2018-09-27
• 公開（公告）號: CN208872260U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 趙智亮;陳立華;劉敏;趙子嘉;陳輝
• 申請（專利權）人: 成都太科光電技術有限責任公司;趙智亮
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置，其特征在于包括干涉測試系統(1)和長焦距測試調整結構(2)，

所述的干涉測試系統(1)，包括激光器(11)，沿該激光器(11)的激光輸出方向依次是擴束聚焦系統(12)、第一45°分光鏡(13)、球面準直物鏡(18)、標準鏡(21)、待測反射鏡(22)，入射光束在所述的標準鏡(21)的后表面標準參考面反射形成參考光束，在所述的待測反射鏡(22)的前表面反射形成測試光束，沿所述的參考光束和測試光束方向依次是所述的球面準直物鏡(18)、第一45°分光鏡(13)、第二45°分光鏡(14)，該第二45°分光鏡(14)將入射光束分為透射光和反射光，沿所述的透射光方向是對準成像CMOS(15)，沿所述的反射光方向依次是干涉圖變倍轉像系統(16)和CCD成像系統(17)，所述的準直物鏡(18)和所述的標準鏡(21)位于同一鏡筒中并共光軸共球心；

所述的長焦距測試調整結構(2)包括氣浮平臺結構(4)和具有五維調整機構的載物臺(3)，所述的干涉測試系統(1)固定在所述的氣浮平臺結構(4)上，所述的待測反射鏡(22)置于所述的載物臺(3)的臺面(3702)上。

2.根據權利要求1所述的大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置，其特征在于所述的激光器(11)為632.8nm的He-Ne激光器。

3.根據權利要求1所述的大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置，其特征在于當所述的待測反射鏡(22)為待測平面反射鏡(24)時，所述的標準鏡(21)為標準平面楔鏡(23)。

4.根據權利要求1所述的大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置，其特征在于所述的氣浮平臺結構(4)由四條氣浮腿(44)支撐的氣浮平臺(40)構成，所述的氣浮平臺(40)的中心具有鏡筒通孔(45)，供所述的干涉測試系統(1)安裝有標準鏡(21)的鏡筒(20)穿設，在所述的鏡筒通孔(45)中心對稱的四角是四個導柱孔(41)，在鏡筒通孔(45)的左右兩邊設有兩個對稱的Z向絲桿軸承套(42)；

所述的載物臺(3)由所述的Z向平移調整結構、載物臺四維調節機構構成，所述的Z向平移調整結構包括Z軸驅動組件(31)、安裝板(3100)、四根導柱(43)、兩根Z向絲桿、限位塊(38)、開關安裝柱(39)和光柵數顯裝置，

所述的載物臺四維調節機構包括載物臺安裝板(33)、直調XY平臺(35)、偏擺載物臺(37)，所述的直調XY平臺(35)安裝在所述的載物臺安裝板(33)上，經螺旋傳動實現所述的偏擺載物臺(37)在導軌X/Y方向上的平移，所述的偏擺載物臺(37)位于所述的直調XY平臺(35)上方，用于調節的偏擺俯仰X/Y兩維角度，所述的偏擺載物臺(37)的頂面為載物臺面(3702)；

在所述的氣浮平臺(40)的導柱孔(41)、Z向絲桿軸承套(42)和安裝板(3100)的導柱孔(3113)、軸承座(3110)之間垂直地安裝所述的四根導柱(43)和兩根Z向絲桿，所述的載物臺安裝板(33)通過相應的導柱孔、配套螺孔套設在所述的導柱(43)、兩根Z向絲桿上，在所述的氣浮平臺(40)和安裝板(3100)之間還安裝了一根開關安裝柱(39)和套設在該開關安裝柱(39)的限位塊(38)，該限位塊(38)控制所述的載物臺的載物臺臺面(3702)的Z向高度；

所述的Z軸驅動組件(31)的步進電機(3101)安裝在所述的安裝板(3100)上，所述的步進電機(3101)驅動所述的Z向絲桿的旋轉帶動所述的載物臺安裝板(33)沿所述的導柱(43)上下移動；

所述的光柵數顯裝置包括光柵尺(34)和光柵數顯表(36)，所述的光柵尺(34)位于所述的載物臺安裝板(33)的正上方，對位于載物臺臺面(3702)上的待測反射鏡(22)的Z向高度進行測量，并顯示在光柵數顯表(36)上。

5.根據權利要求4所述的大口徑長焦距菲索型球面干涉測試裝置，其特征在于當所述的待測反射鏡(22)為待測球面反射鏡時，所述的標準鏡(21)為標準球面鏡；通過Z向平移調整結構、載物臺四維調節結構的調整，使所述的待測球面反射鏡和所述的標準球面鏡共光軸。