[實用新型]一種電阻式薄膜壓力傳感器

有效

• 申請號: 201821576516.0
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN209085808U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 羅海濤
• 申請（專利權）人: 深圳市慧力迅科技有限公司
• 主分類號: G01L1/20
• 分類號: G01L1/20;G01L9/02
• 代理公司: 深圳市沃德知識產權代理事務所(普通合伙) 44347
• 代理人: 于志光

1.一種電阻式薄膜壓力傳感器，包括第一導電結構、第二導電結構、以及設置于第一導電結構與第二導電結構之間的隔離結構，其特征在于：所述第一導電結構包括第一基材、形成于第一基材上的導電線路層、以及覆蓋于所述導電線路層上的高阻碳油層，所述第二導電結構包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油層，所述導電線路層包括兩分離設置的引線，兩引線之間形成有間隔，所述隔離結構形成有對應間隔的至少一開口，所述電阻式薄膜壓力傳感器受壓時低阻碳油層與高阻碳油層在對應所述開口位置處形成接觸，導通兩引線。

2.如權利要求1所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述開口在兩引線之間橫向延伸，開口的輪廓線由開口的中央向兩端為光滑的漸變線，所述電阻式薄膜壓力傳感器對應開口中央位置形成易接觸區、對應開口兩端位置形成難接觸區。

3.如權利要求2所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述開口中央的寬度大于開口兩端的寬度。

4.如權利要求2所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述高阻碳油層包括分離的兩部分，每一部分覆蓋一引線，所述兩部分之間形成間隙，所述間隙對應開口中央。

5.如權利要求2所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述兩引線相對設置，每一引線包括線狀延伸的本體以及由本體朝向另一引線延伸的若干分支，所述開口的兩端分別延伸至對應一引線的分支之間。

6.如權利要求1所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離結構包括一體形成于高阻碳油層上的隔離層以及粘結于第一、第二導電結構之間的環形隔離件，所述開口形成于隔離層上。

7.如權利要求6所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離件上形成有斷口。

8.如權利要求1所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離結構為薄片狀的隔離件，粘結于第一、第二導電結構之間。

9.如權利要求1所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電阻式薄膜壓力傳感器整體呈橢圓薄片狀。

10.如權利要求1所述的電阻式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電阻式薄膜壓力傳感器整體呈方形薄片狀。