[實用新型]一種水刀裝置有效
| 申請號: | 201821572938.0 | 申請日: | 2018-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN208866055U | 公開(公告)日: | 2019-05-17 |
| 發明(設計)人: | 羅文濱;劉夢夢;魏杰 | 申請(專利權)人: | 安徽宏實自動化裝備有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/02 | 分類號: | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司: | 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡劍輝 |
| 地址: | 230001 安徽省合*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴嘴 長條縫 清洗 本實用新型 從動皮帶輪 噴管 入水管道 水刀裝置 水刀 噴嘴清洗裝置 電機固定架 驅動皮帶輪 長條縫隙 出口壓力 傳動皮帶 化學試劑 晶圓清洗 噴管噴嘴 清洗裝置 濕式制程 套裝結構 圓形噴孔 轉動軸承 裝置外殼 不均勻 出水量 傳統的 浸泡式 均勻性 噴嘴噴 外噴管 轉動軸 轉接器 噴孔 入水 水幕 軸承 半導體 電機 外部 改進 保證 | ||
1.一種水刀裝置,包括傳動皮帶(1)、轉動軸承(2)、驅動皮帶輪(3)、從動皮帶輪(4)、軸承(5)、水刀(6)、入水管道(7)、入水轉接器(8)、水刀入水管道(9)、裝置外殼(10)、電機固定架(11)、電機(12)以及從動皮帶輪轉動軸(13),其特征在于,所述電機(12)通過電機固定架(11)固定于裝置外殼(10)下端,所述驅動皮帶輪(3)安裝于轉動軸承(2)一端,所述轉動軸承(2)另一端與電機(12)輸出軸承連接,所述從動皮帶輪(4)安裝于從動皮帶輪轉動軸(13)一端,所述從動皮帶輪轉動軸(13)另一端穿過軸承(5)與水刀(6)一端連接,所述軸承(5)安裝于裝置外殼(10)一側,所述傳動皮帶(1)連接驅動皮帶輪(3)與從動皮帶輪(4),所述水刀(6)設于裝置外殼(10)內側,所述水刀入水管道(9)連接水刀(6)無從動皮帶輪轉動軸(13)的一端,所述水刀入水管道(9)穿過軸承(5)與入水轉接器(8)連接,所述入水轉接器(8)固定于裝置外殼(10)上,所述水轉接器(8)上連接有入水管道(7);
所述入水轉接器(8)用于將旋轉入水管道與固定入水管道分開,所述水刀入水管道(9)為旋轉管道,所述入水管道(7)為固定管道。
2.根據權利要求1所述的一種水刀裝置,其特征在于,所述水刀(6)包括內部噴管(61)、內部噴管出水孔(62)、外部噴管(63)以及外部噴水口(64),外部噴管(63)的內徑大于內部噴管(61)的外徑,兩管同軸心配合,所述內部噴管(61)一端設于外部噴管(63)內部,另一端設于外部噴管(63)外側且連接水刀入水管道(9),所述內部噴管出水孔(62)為圓形且一字排開均勻分布于內部噴管(61)位于外部噴管(63)內部一端的管道上,所述外部噴水口(64)設于外部噴管(63)外側,所述外部噴水口(64)噴嘴為一個長條的細縫,所述內部噴管出水孔(62)與外部噴水口(64)的噴嘴的位置正好相對;
所述外部噴管(63)無內部噴管(61)的一端外側連接有從動皮帶輪轉動軸(13)。
3.根據權利要求1所述的一種水刀裝置,其特征在于,所述入水轉接器(8)包括出水管道接頭(81)、軸承內環(82)、入水管道接頭(83)、入水轉接器外殼(84)、密封圈(85)以及軸承外環(86),所述出水管道接頭(81)安裝于軸承內環(82)內側壁上,所述軸承外環(86)固定于入水轉接器外殼(84)側壁上,所述軸承外環(86)與軸承內環(82)配套安裝組成轉動軸承,所述轉動軸承外側設有密封圈(85),所述入水管道接頭(83)安裝于入水轉接器外殼(84)非出水管道接頭(81)的一側,所述入水轉接器外殼(84)固定于裝置外殼(10)上。
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