[實用新型]一種圓片清洗裝置

有效

• 申請號: 201821571640.8
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN209418467U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 柯武生
• 申請（專利權）人: 廣西桂芯半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種圓片清洗裝置，其特征在于：包括傳動系統、加熱清洗系統、噴淋系統、烘干系統和控制器；傳動系統包括傳動輪、變頻電機和輸送帶，變頻電機分別連接傳動輪和控制器，輸送帶鋪在加熱清洗系統、噴淋系統和烘干系統表面；加熱清洗系統為一個石英槽體，底部設有加熱器和溫度傳感器，石英槽體底部連接加酸箱，上部和底部均設有排放口，排放口連接排放管道；噴淋系統包括上噴淋管路和下噴淋管路，上噴淋管路和下噴淋管路通過水管與自來水管道接口連接，噴淋系統底部設有廢水排放口，廢水排放口連接廢水排放管道；烘干系統為熱風機，熱風機與控制器連接；

加酸箱與石英槽體的連接管路上設有流量閥，上噴淋管路和下噴淋管路與自來水管道連接的管道上設有進水閥，排放管道上設有電磁閥，廢水排放管道設有廢水排放閥，上述流量閥、進水閥、電磁閥和廢水排放閥分別與控制器連接；

所述控制器連接有觸控面板，觸控面板為人機界面，是一種可接收觸頭輸入訊號的感應式液晶顯示裝置；

所述控制器為集成電路、PLC控制器或單片機。

2.根據權利要求1所述的圓片清洗裝置，其特征在于：所述控制器設有工作指示燈和故障指示燈。

3.根據權利要求1所述的圓片清洗裝置，其特征在于：所述控制器設有蜂鳴器。

4.根據權利要求1所述的圓片清洗裝置，其特征在于：所述加熱器內設有加熱絲，所有的加熱絲及其導線都是用PFA包裹。

5.根據權利要求1所述的圓片清洗裝置，其特征在于：所述輸送帶采用聚四氟乙烯輸送帶。