[實用新型]一種用于精密儀器的三足式防微振支腿

有效

• 申請號: 201821570124.3
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN208779054U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 盧晗;張健坤;尤健
• 申請（專利權）人: 大連地拓重工有限公司
• 主分類號: F16M11/12
• 分類號: F16M11/12;F16M11/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于精密儀器的三足式防微振支腿，包括支撐盤和支撐管，所述支撐盤的下部設有關節螺栓，所述關節螺栓上套設有鎖緊螺母，所述支撐管上部設有螺紋盤，所述支撐管下部設有地腳。本實用新型一種用于精密儀器的三足式防微振支腿，制作工序簡單，成本低，可以實現現場安裝，在現場安裝時只用考慮支腿的安裝位置，支腿的垂直度和水平度都可以在安裝后進行調節，另外，在設備運轉過程中，如果發生支腿輕微傾斜仍可以還可以通過3個關節螺栓和水準泡調節支腿的垂直度和水平度，降低了現場安裝的難度，方便了現場的調節工作。

技術領域

本實用新型屬于精密儀器基礎技術領域，具體是一種用于精密儀器的三足式防微振支腿。

背景技術

目前，在半導體和光電廠行業中，對于有防振要求的精密儀器，常規的做法就是給精密儀器安裝鋼結構防振基座，大概有鋼板類、象腿類、鋼結構類和混凝土類四種，防微振能力也是由弱到強。

大象支腿，是精密儀器常使用的輕型防震基座，傳統的大象支腿結構通過旋轉螺紋桿來實現對大象腿高度的調整。但是這種形式的大象腿支腿存在很多弊端，①對支腿的制作精度要求很高，支撐面平面必須與支撐柱的軸線垂直，否則一旦調整支腿高度，支撐面將發生不可控的擺動；②由于是通過旋轉螺紋桿的方式來調節高度，所以對支腿的安裝要求很高，支撐柱的軸線必須與高壓地板垂直，這就需要使用水平設備反復的驗證。所以傳統的大象支腿不單制作時費時費力，也給支腿的安裝帶來了很多麻煩。

發明內容

鑒于以上內容，本實用新型提供一種用于精密儀器的三足式防微振支腿，以解決上述背景技術中存在的問題。

一種用于精密儀器的三足式防微振支腿，包括支撐盤和支撐管，所述支撐盤的下部設有關節螺栓，所述關節螺栓上套設有鎖緊螺母，所述支撐管上部設有螺紋盤，所述支撐管下部設有地腳。

優選地，所述支撐盤上部設有用于與基座安裝固定的螺栓孔。

優選地，所述支撐盤上部還設有水準泡。

優選地，所述關節螺栓為三個，呈等腰三角形分布。

優選地，所述螺紋盤與支撐管之間采用焊接固定。

優選地，所述螺紋盤上設有用于與所述關節螺栓連接相匹配的螺栓孔。

優選地，所述地腳與支撐管之間采用焊接固定。

優選地，所述地腳呈矩形，四個角上設有用于安裝固定的螺栓孔。

本發明的有益效果為：

本實用新型一種用于精密儀器的三足式防微振支腿，制作工序簡單，成本低，可以實現現場安裝，在現場安裝時只用考慮支腿的安裝位置，支腿的垂直度和水平度都可以在安裝后進行調節，另外，在設備運轉過程中，如果發生支腿輕微傾斜仍可以還可以通過3個關節螺栓和水準泡調節支腿的垂直度和水平度，降低了現場安裝的難度，方便了現場的調節工作。

附圖說明

圖1為本實用新型一種用于精密儀器的三足式防微振支腿立體結構示意圖。

圖2為本實用新型一種用于精密儀器的三足式防微振支腿A-A部剖面結構示意圖。

圖3為本實用新型一種用于精密儀器的三足式防微振支腿安裝于潔凈室地面上發生傾斜時的立體結構示意圖。

圖中1-地腳，2-支撐管，3-螺紋盤，4-關節螺栓，5-支撐盤，6-鎖緊螺母，7-水準泡，8-螺栓孔，9-螺栓孔，10-螺栓孔，11-潔凈室地板。

具體實施方式