[實用新型]一種生產一氧化硅的多室臥式真空爐

有效

• 申請號: 201821569605.2
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN209054929U
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 劉柏男;羅飛;褚賡;陸浩
• 申請（專利權）人: 溧陽天目先導電池材料科技有限公司
• 主分類號: F27B5/02
• 分類號: F27B5/02;F27B5/04;F27B5/14;F27B5/06;C01B33/113
• 代理公司: 北京慧誠智道知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11539
• 代理人: 李楠

本實用新型實施例涉及一種生產一氧化硅的多室臥式真空爐，多室臥式真空爐包括爐體、加熱反應器、反應冷卻裝置、冷卻收集器、收集冷卻裝置和抽真空裝置；可移動半爐體與固定半爐體機械連接，使固定半爐體與可移動半爐體之間實現緊密貼合；固定半爐體內固設一個或多個加熱反應器；反應冷卻裝置安裝于固定半爐體的爐壁內，用以對固定半爐體的爐壁進行冷卻降溫；每個加熱反應器均通過法蘭連接一個冷卻收集器，且法蘭連接處通過密封圈密封；收集冷卻裝置設置在可移動半爐體的爐壁內，用以對可移動半爐體和冷卻收集器進行冷卻降溫；抽真空裝置分別與多個加熱反應器和冷卻收集器相連通，用以對加熱反應器和冷卻收集器內進行抽真空。

技術領域

本實用新型涉及硅氧化合物的生產技術領域，尤其涉及一種生產一氧化硅的多室臥式真空爐。

背景技術

一氧化硅是一種寬帶隙半導體光學材料，是用于制備光學鍍膜、鋰離子電池負極材料的重要原料，其制備方法多為將金屬硅與氧化硅的混合物在真空和高溫下反應，生產一氧化硅的蒸汽，在低溫下沉積。早期的一氧化硅生產裝置僅是一個高氧化鋁瓷質耐火管，其常開的一端內壁襯有鉬質或鎳質襯片，工作時，將混合好的二氧化碳和硅的混合原料置于管內封閉的一端，耐火管封閉抽真空后，直接在空氣中加熱管子表面，原料汽化后，沉積在耐火管另一端的鉬片或鎳片上，這種生產裝置，由于直接在空氣中加熱高氧化鋁瓷質耐火管，而其內又是抽真空的，因此很容易破裂，且生產效率低。

目前，國內一氧化硅的生產設備多為單體式真空爐，產量低，且耗能高，同時，現有技術中單體式真空爐的密封性較差，批次穩定很差，此外，采用單體式真空爐加熱時間較長，且等待冷卻的時間也較長，無法實現一爐體同工同時的量產工作，對行業的大量需求表現極弱，尤其不能滿足鋰離子電池硅基負極材料的發展。因此，急需一種能夠解決上述問題的生產一氧化硅的多室臥式真空爐。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術存在的問題，提供一種生產一氧化硅的多室臥式真空爐，多個真空爐集于一套系統內同時加熱收集，產量高，且在生產過程中不需要停止加熱，穩定性強，一套多室臥式真空爐工作，爐體打開關閉時采用定向移動滑輪，進出料方便，實現了設備的連續工作，提高了生產效率，能夠更好的滿足行業需求。

為實現上述目的，本實用新型提供了一種生產一氧化硅的多室臥式真空爐，所述多室臥式真空爐包括：

爐體，包括固定半爐體和可移動半爐體；所述可移動半爐體與所述固定半爐體機械連接，使所述固定半爐體與所述可移動半爐體之間實現緊密貼合；

加熱反應器，所述固定半爐體內固設一個或多個所述加熱反應器；

反應冷卻裝置，裝置于所述固定半爐體的爐壁內；

冷卻收集器，每個所述加熱反應器均通過法蘭連接一個所述冷卻收集器，且法蘭連接處通過密封圈密封；

收集冷卻裝置，所述收集冷卻裝置設置在所述可移動半爐體的爐壁內；

抽真空裝置，所述抽真空裝置分別與多個所述加熱反應器和所述冷卻收集器相連通。

優選的，所述加熱反應器包括加熱反應罐體、加熱裝置和保溫裝置；

所述加熱反應罐體設置于所述固定半爐體內；

所述加熱裝置環設于所述加熱反應罐體的外側表面上，對所述加熱反應罐體內的所述原材料進行加熱；

所述保溫裝置設置于所述加熱反應罐體與所述加熱裝置之間。

進一步優選的，所述冷卻收集器包括收集罐體；所述收集罐體的一端為開口端，所述收集罐體的另一端為封閉端，所述開口端的直徑大于所述封閉端的直徑；所述收集罐體與所述加熱反應罐體之間通過所述法蘭連接，且法蘭連接處采用所述密封圈密封。

優選的，所述收集冷卻裝置與多個所述冷卻收集器之間通過冷卻介質連接。