[實用新型]一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置

有效

• 申請號: 201821565256.7
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209239819U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 趙小虎;陳躬德;陳魁
• 申請（專利權）人: 福建省創飛新材料科技有限公司
• 主分類號: B24C1/06
• 分類號: B24C1/06;B24C3/04;B24C9/00
• 代理公司: 福州盈創知識產權代理事務所(普通合伙) 35226
• 代理人: 李明通

本實用新型涉及一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置，特別涉及于靶材制造技術領域。本實用新型包括箱體、支架、儲料箱、風管、送風裝置、噴嘴、支撐腿，所述箱體底部內壁設有篩網，所述篩網上設有吸盤，所述箱體一側設有抽氣泵，所述箱體內設有噴砂通道，所述儲料箱底部通過出料管與進料總管相連，所述進料總管下方連接進料分管，所述進料分管穿過所述箱體與所述噴砂通道相連，所述篩網下方傾斜設有滑槽，所述滑槽下方設有收集箱，所述收集箱上方設有螺旋回料筒，所述螺旋回料筒頂部設有回料電機。不僅提高了噴砂效率，而且實現了砂粒的循環利用，節約了資源，降低了成本。

技術領域

本實用新型涉及于靶材制造技術領域，特別涉及于一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。

靶材的生產與制造是將對應粉末經高溫熔化后噴涂，為了使熔化后的粉末材料有效地附著在基體上，故需要對靶材進行噴砂處理使基體具有粗糙化，從而實現靶材的生產。傳統靶材的噴砂處理一般采用人工處理，人工處理具有操作復雜，工作量大，效率低，而現有的大多數噴砂裝置噴砂時多余的砂粒容易灑落在各個角落，造成了大量砂粒的浪費，以及如果要實現多方向噴砂需要每個方向配備儲砂罐和送風裝置，成本較高。

實用新型內容

（1）要解決的技術問題

本實用新型提供一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置，克服了傳統靶材的噴砂處理采用人工處理具有操作復雜，工作量大，效率低，現有的噴砂裝置噴砂時多余的砂粒容易灑落在各個角落，造成了大量砂粒的浪費及如果要實現多方向噴砂需要每個方向配備儲砂罐和送風裝置，成本較高的缺點。

（2）技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置，包括箱體、支架、儲料箱、風管、送風裝置、噴嘴、支撐腿，所述箱體底部設有所述支撐腿，所述箱體底部內壁設有篩網，所述篩網上設有吸盤，所述箱體一側設有抽氣泵，所述抽氣泵下端與抽氣總管一端相連，所述抽氣總管上方通過抽氣分管與所述吸盤相連，所述箱體另一側連接有進氣管，所述進氣管與所述抽氣總管相連，所述箱體內設有噴砂通道，所述篩網的上方及兩側的所述噴砂通道的外壁上設有兩個以上的朝向所述吸盤的所述噴嘴，所述箱體上固定有所述支架，所述支架上固定有所述儲料箱，所述儲料箱底部通過出料管與進料總管相連，所述進料總管下方連接進料分管，所述進料分管穿過所述箱體與所述噴砂通道相連，所述儲料箱一側通過所述風管與所述送風裝置相連，所述篩網下方傾斜設有滑槽，所述滑槽下方設有收集箱，所述收集箱上方設有螺旋回料筒，所述螺旋回料筒頂部設有回料電機，所述螺旋回料筒一側設有回料槽，所述回料槽與所述儲料箱另一側相連。

優選地，所述抽氣分管的數量和所述吸盤的數量一致且至少為四個。

優選地，所述進料分管的數量至少為三個。

優選地，所述進氣管上設有進氣閥，所述出料管上設有控制閥。

優選地，所述送風裝置為空氣壓縮機。

（3）有益效果

本實用新型提供一種可循環利用砂粒的靶材自動噴砂裝置，克服了傳統靶材的噴砂處理采用人工處理具有操作復雜，工作量大，效率低，現有的噴砂裝置噴砂時多余的砂粒容易灑落在各個角落，造成了大量砂粒的浪費及如果要實現多方向噴砂需要每個方向配備儲砂罐和送風裝置，成本較高的缺點。與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

1、抽氣泵進行抽氣，通過吸盤將靶材吸住，防止靶材在噴砂過程中產生移位。

2、只需要通過一個儲料箱和一個送風裝置就可以實現多方向的噴砂，效率高，節約成本。