[實用新型]一種新型的靶材冷卻裝置

有效

• 申請號: 201821565150.7
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209243162U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 陳躬德;趙小虎;陳魁
• 申請（專利權）人: 福建省創飛新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 福州盈創知識產權代理事務所(普通合伙) 35226
• 代理人: 李明通

1.一種新型的靶材冷卻裝置，包括靶材（1）、冷卻管（3）、進水口（4）、出水口（5），其特征在于，所述靶材（1）下方設有兩個以上所述冷卻管（3），所述冷卻管（3）的兩端均連接有儲水槽（2），所述冷卻管（3）一端的儲水槽（2）的一側設有所述進水口（4），所述冷卻管（3）另一端的儲水槽（2）的一側設有所述出水口（5），所述儲水槽（2）內設有與所述冷卻管（3）相連的連接管（21），所述冷卻管（3）與所述連接管（21）之間設有密封圈（11），所述密封圈（11）與所述冷卻管（3）和所述連接管（21）的密封面均設有凹槽（111），所述冷卻管（3）的上表面和所述冷卻管（3）的下底面均設有卡緊裝置（12），所述卡緊裝置（12）呈了“L”型，所述卡緊裝置（12）一端為固定于所述冷卻管（3）上，所述卡緊裝置（12）另一端沿所述冷卻管（3）的軸向向所述連接管（21）延伸并卡緊在所述連接管（21）上，所述出水口（5）通過管道與溫度傳感器（8）一端相連，所述溫度傳感器（8）另一端通過管道與冷卻機（7）一端相連，所述冷卻機（7）另一端通過管道與冷卻水循環泵（6）一端相連，所述冷卻水循環泵（6）另一端通過管道與所述進水口（4）相連。

2.根據權利要求1所述的一種新型的靶材冷卻裝置，其特征在于，所述冷卻管（3）與所述連接管（21）的數量一致且至少為10個。

3.根據權利要求1所述的一種新型的靶材冷卻裝置，其特征在于，所述進水口（4）與所述冷卻水循環泵（6）的連接管道上設有第一控制閥（9），所述出水口（5）與所述溫度傳感器（8）的連接管道上設有第二控制閥（10）。

4.根據權利要求1所述的一種新型的靶材冷卻裝置，其特征在于，所述密封圈（11）的截面為X型。