[實(shí)用新型]一種卷到卷高效連續(xù)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821565085.8
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN208759292U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇建修;王永勝;陳紹坤;王占奎;李勇峰;劉亞明;馬利杰;付成果
• 申請（專利權(quán)）人: 河南科技學(xué)院
• 主分類號: B24B29/06
• 分類號: B24B29/06;B24B27/00;B24B49/00;B24B41/00;B24B57/02
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 王海燕

本實(shí)用新型公開一種卷到卷高效連續(xù)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，包括六個(gè)拋光輥裝置，六個(gè)拋光輥裝置前后分別設(shè)置有第一水平調(diào)速檢測裝置和第二水平調(diào)速檢測裝置，所述第一水平調(diào)速檢測裝置外側(cè)設(shè)置有放卷裝置，所述第二水平調(diào)速檢測裝置外側(cè)設(shè)置有收卷裝置；所述第二水平調(diào)速檢測裝置與所述拋光輥裝置之間設(shè)置有清洗干燥裝置；所述拋光輥裝置上安裝有拋光輥，所述拋光輥一側(cè)設(shè)置有噴淋裝置，所述拋光輥裝置底部設(shè)置有廢液收集箱。本實(shí)用新型提供的卷到卷高效連續(xù)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)，用于超薄柔性顯示襯底的Roll?to?Roll高效生產(chǎn)，可實(shí)現(xiàn)與柔性顯示器的制造形成無縫對接，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及微電子、光電子、柔性顯示器襯底制造中的超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種卷到卷高效連續(xù)化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)。

背景技術(shù)

微電子、光電子、集成電路制造是集國家利益、人類智慧和最新科技于一體的基礎(chǔ)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，是衡量一個(gè)國家地位和綜合國力的重要標(biāo)志之一，是當(dāng)今世界競爭最激烈、發(fā)展最迅速的領(lǐng)域，只有掌握先進(jìn)的微電子及光電子制造技術(shù)才能有效地控制成本和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，才能在激烈的市場競爭中生存和發(fā)展。微電子及光電子先進(jìn)制造作為國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)、先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)、支柱產(chǎn)業(yè)和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，對我國國民經(jīng)濟(jì)、國家安全、人民生活和社會進(jìn)步正在發(fā)揮著越來越重要的作用。

隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和不斷發(fā)展，柔性顯示技術(shù)正逐漸改善人們的生活和交流，并顯著推進(jìn)著信息可視化。近年來，柔性顯示的優(yōu)勢日益突出，柔性電子與作為平板顯示的LCD、OLED和等離子體顯示相比，具有超薄、質(zhì)量輕、耐用、儲存量大、設(shè)計(jì)自由，可撓曲、可收卷和耐沖擊等性能，廣泛適用于移動電話、個(gè)人數(shù)字助理PDA、筆記本電腦、商標(biāo)、安全身份文件、電子書、電子海報(bào)、汽車儀表板、RF識別系統(tǒng)、傳感器、環(huán)境顯示、醫(yī)療、普通照明、機(jī)器人感覺皮膚等工業(yè)、民用及軍事行業(yè)，柔性顯示器還可以讓顯示屏更容易成為裝飾材料，利用柔性顯示的可彎曲特性使得工程設(shè)計(jì)不局限于平面化，可實(shí)現(xiàn)多元化外型的顯示模式。

柔性顯示巨大的市場前景，使許多國家和地區(qū)的研究機(jī)構(gòu)及生產(chǎn)廠商投入到柔性顯示技術(shù)的研究與應(yīng)用中，并取得了顯著的成果。當(dāng)前，柔性電子還處在即將產(chǎn)業(yè)化的前夜，仍然還存在很多的技術(shù)瓶頸，對于材料、工藝、設(shè)計(jì)等還處在研究和探索的階段。柔性顯示技術(shù)是集大規(guī)模集成電路、精密加工技術(shù)、光電子技術(shù)于一體高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，涉及半導(dǎo)體、光學(xué)、微電子、化學(xué)材料、精密機(jī)械與加工等眾多的高科技領(lǐng)域。

在柔性顯示器件中，柔性襯底是研發(fā)柔性顯示的基礎(chǔ)。平板顯示器都是以玻璃基板為襯底制作的，而柔性顯示器則是以柔性材料為襯底，其對柔性襯底的表面質(zhì)量要求與玻璃基板一樣，表面平整度和厚度要求非常嚴(yán)格，要實(shí)現(xiàn)柔性襯底的表面質(zhì)量和加工精度，目前最常用的方法是表面拋光技術(shù)。

化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)被認(rèn)為是能兼顧表面粗糙度和表面平整度要求的最好的工藝方法，已成為硬脆性晶體材料、金屬材料及其它材料實(shí)現(xiàn)表面超光滑無損傷加工的最實(shí)用技術(shù)之一，并且廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體照明、光學(xué)玻璃、平板顯示等光電子、微電子、航空航天及機(jī)械工程等領(lǐng)域。經(jīng)過分析與研究，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)可能是最適合的、且完全能用于大尺寸超薄柔性顯示襯底表面的Roll-to-Roll(卷到卷)高效超精密加工中，來獲得超光滑無損傷的加工表面。

開發(fā)柔性顯示器的另一個(gè)重要因素在于其工藝可能由Sheet-fedbatchprocessing(單張批量生產(chǎn))轉(zhuǎn)換成Roll-to-Rollmanufacturing(卷到卷生產(chǎn))，效率大大提高，意味著顯示器的成本可能大大降低。

具有超光滑表面的柔性顯示襯底具有不可估量應(yīng)用前景。但是目前，市場上還沒有Roll-to-Roll高效柔性顯示襯底的超精密加工技術(shù)，還沒有適合Roll-to-Roll高效生產(chǎn)柔性顯示襯底的專用工具、設(shè)備與工藝。

實(shí)用新型內(nèi)容