[實用新型]一種可拆裝基板載體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821563854.0
• 申請日: 2018-09-26
• 公開（公告）號: CN208883984U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬淑瑩;余海春
• 申請（專利權(quán)）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/34
• 代理公司: 上海申蒙商標專利代理有限公司 31214
• 代理人: 徐小蓉

本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其是一種可拆裝基板載體，其特征在于：所述基板載體包括底板及可拆裝式安裝在所述底板上的治具；所述治具用于裝載所述產(chǎn)品，所述底板用于固定在所述基板架上。本實用新型的優(yōu)點是：治具更換方便，增大了設(shè)備的產(chǎn)能，能給不同的產(chǎn)品鍍膜，且鍍膜均勻性更好，減少物料成本，節(jié)省底板的改造操作成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其是一種可拆裝基板載體。

背景技術(shù)

在濺射鍍膜工藝中，基板、基片等鍍膜工件需要置于一載體上，而載體則通過連接件固定架設(shè)到基板架上。隨著基板架的轉(zhuǎn)動，濺射源對承載在載體上的鍍膜工件進行濺射鍍膜。

常見的載體都是一體式的，隨著真空鍍膜產(chǎn)品的形狀越來越多樣化，有時候生產(chǎn)商更換一種產(chǎn)品，就需要更換整個設(shè)備的裝載結(jié)構(gòu)，增加了改造成本。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種可拆裝基板載體，通過將基板載體分為底板和可拆式安裝在底板上的治具，從而可以增大設(shè)備產(chǎn)能，減少改造操作成本。

本實用新型目的實現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成：

一種可拆裝基板載體，固定在基板架上用于裝載產(chǎn)品，其特征在于：所述基板載體包括底板及可拆裝式安裝在所述底板上的治具；所述治具用于裝載所述產(chǎn)品，所述底板用于固定在所述基板架上。

所述底板上開設(shè)有若干安裝孔，所述若干安裝孔滿足于安裝不同所述治具的需要。

所述底板上開設(shè)有若干能將所述底板固定在所述基板架上的通孔。

所述治具的一面與所述產(chǎn)品的形狀相適配，所述治具的另一面與所述底板的形狀相適配。

本實用新型的優(yōu)點是：治具更換方便，增大了設(shè)備的產(chǎn)能，能給不同的產(chǎn)品鍍膜，且鍍膜均勻性更好，減少物料成本，節(jié)省底板的改造操作成本。

附圖說明

圖1為本實用新型用于菲林膜片時的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的爆炸圖；

圖3為本實用新型用于玻璃基板時的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖3的爆炸圖。

具體實施方式

以下結(jié)合附圖通過實施例對本實用新型特征及其它相關(guān)特征作進一步詳細說明，以便于同行業(yè)技術(shù)人員的理解：

如圖1-4所示，圖中標記1-8分別表示為：底板1、治具2、治具3、菲林膜片4、玻璃基板5、通孔6、安裝孔7、安裝孔8。

實施例一：本實施例中的一種可拆裝基板載體，主要用于濺射鍍膜工藝中。

如圖1、2所示，可拆裝基板載體包括底板1，安裝固定在底板1上的治具2。

其中底板1固定安裝在基板架上，支承治具2。治具2安裝固定在底板1上用來裝載作為產(chǎn)品的菲林膜片4。

在底板1的上下端各留設(shè)兩個通孔6，將底板1固定在基板架上。治具2用來裝載菲林膜片4的側(cè)面呈曲面，該曲面與菲林膜片4的曲面相吻合適配，在對菲林膜片4進行鍍膜時，提高了鍍膜的均勻性。治具2與底板1的接觸面呈平面，該平面與底板1的平面相匹配，增加了治具2與底板1的貼合性。底板1上留設(shè)有若干安裝孔7，治具2上對應(yīng)設(shè)有若干安裝孔8，將治具2中的安裝孔8與底板1上的安裝孔7一一對應(yīng)后，采用螺栓錨固，將治具2可拆卸式的固定安裝在底板1上，后期為不同尺寸和形狀的產(chǎn)品鍍膜時，無需再將整個基板載體拆除，只需將治具2從底板1上拆除更換即可，從而減少更換底板1的物料成本，節(jié)省底板1的改造操作成本，提高設(shè)備的產(chǎn)能。