[實用新型]一種砷烷氣體制備設備的安全控制運行系統

有效

• 申請號: 201821561144.4
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN208917317U
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 彭小磊;趙青松;寧紅峰;南建輝
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: C25B1/00
• 分類號: C25B1/00;C25B9/00;C25B15/02
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 齊勝杰

本實用新型提供一種砷烷氣體制備設備的安全控制運行系統，包括：所述系統包括：箱體、微負壓保持裝置和氣體處理裝置，所述箱體為全密閉結構，所述箱體中設有電解裝置；氣體處理裝置位于箱體外部，且與箱體中的電解裝置管路連接；微負壓保持裝置位于箱體外部，包括至少一個負壓風機，所述微負壓保持裝置一端通過管路與箱體連接，另一端通過管路與氣體處理裝置連接。上述系統可以制備高純度的砷烷氣體，且安全性高，實現污染物的零排放。

技術領域

本實用新型涉及氣體制備的安全控制技術，特別涉及一種砷烷氣體制備設備的安全控制運行系統。

背景技術

AsH₃(砷烷)氣體用于有機合成、軍用毒氣，及應用于科研或某些特殊實驗中，還廣泛用于集成電路，太陽能電池等領域，是一種需求量非常大，價值非常高的電子特氣。

由于AsH₃氣體在室溫和大氣壓下是一種無色、劇毒、可燃氣體，國內大多為簡單化學試驗設備制備少量AsH₃氣體，且制備的AsH₃氣體純度較低，這是由于制備大規模、且純度高的AsH₃氣體存在較大的安全性問題，因此，國內尚無大規模制備AsH₃氣體的案例。

為此，提供一種電解法大劑量制備AsH₃氣體的安全控制運行系統，以解決國內大規模制備高純度AsH₃氣體的問題成為當前亟需解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種安全可靠性高，且能夠制備較高純度的砷烷氣體的砷烷氣體制備設備的安全控制運行系統。

本實用新型的技術方案如下：

本實用新型提供一種砷烷氣體制備設備的安全控制運行系統，所述系統包括：箱體、微負壓保持裝置和氣體處理裝置，

所述箱體為全密閉結構，所述箱體中設有電解裝置；

所述氣體處理裝置位于所述箱體外部，且與所述箱體中的電解裝置管路連接；

所述微負壓保持裝置位于所述箱體外部，包括至少一個負壓風機，所述微負壓保持裝置一端通過管路與箱體連接，另一端通過管路與氣體處理裝置連接。

本申請的系統可通過電解法制備大劑量的砷烷氣體，在制備過程中解決了砷烷氣體的安全性問題，保證了砷烷氣體的大規模安全生產。

可選地，所述系統還包括：設置在所述箱體內的氣體冷凝裝置，所述氣體冷凝裝置通過管路連接在電解裝置和氣體處理裝置之間。

通過上述的氣體冷凝裝置，有效實現對產物氣體的初級凈化，進而可以獲取高純度的砷烷氣體。

可選地，所述系統還包括：液體回收系統，所述液體回收系統通過管路連接在電解裝置和氣體冷凝裝置之間。

本申請的液體回收系統能夠實現對氣體冷凝裝置得到的水和電解液的回收再利用，提高了電解液的回收利用率，降低了成本。

可選地，所述系統還包括：砷烷氣體采樣裝置，所述砷烷氣體采樣裝置通過管路連接在氣體冷凝裝置和氣體處理裝置之間。

上述的砷烷氣體采樣裝置可以對經過氣體冷凝裝置之后的氣體進行檢測，確定是否有砷烷氣體制成。

可選地，所述系統還包括：砷烷氣體檢測裝置，所述砷烷氣體檢測裝置通過管路連接在氣體冷凝裝置和氣體處理裝置之間。

上述的砷烷氣體檢測裝置可以對經過氣體冷凝裝置之后的氣體進行成分分析，確定經過氣體冷凝裝置后的氣體成分。

可選地，所述系統還包括：所述箱體內下部設置的砷烷氣體檢測儀，用于檢測在箱體中是否存在砷烷氣體泄露；