[實用新型]一種改善LED管芯清洗的工裝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821559634.0 | 申請日: | 2018-09-25 |
| 公開(公告)號: | CN208674086U | 公開(公告)日: | 2019-03-29 |
| 發(fā)明(設計)人: | 鄭軍;劉曉;閆寶華 | 申請(專利權)人: | 山東浪潮華光光電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 261061 *** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 管芯 水槽 清洗 化學溶液 芯片表面 循環(huán)流動 出水管 進水管 工裝 藍膜 列管 氮氣成本 氮氣吹干 風險降低 清洗過程 作業(yè)效率 鋸片機 插槽 對貼 排出 水中 芯卡 浸泡 殘留 芯片 生產(chǎn) | ||
1.一種改善LED管芯清洗的工裝,其特征在于,包括:
水槽(1),其上端開口四周密閉,內(nèi)部形成封閉的容腔;
進水管(6),連接于水槽(1)一側的下端,其用于將純水輸送至進水管(6);
出水管(7),相對出水管(7)連接于水槽(1)的另一側的上端,其用于將水槽(1)的水排出;
水槽(1)的前后兩端的內(nèi)壁上沿豎直方向均勻間隔設置有若干插槽(2),所述插槽(2)的寬度與切割后的LED管芯的寬度相匹配,每兩個相鄰的插槽(2)之間的間距與切割后的位于藍膜繃環(huán)上的每兩列LED管芯之間的間距相匹配;
藍膜繃環(huán)上的切割后的每列LED管芯卡置于對應的插槽(2)中。
2.根據(jù)權利要求1所述的改善LED管芯清洗的工裝,其特征在于:還包括設置于進水管(6)上的電動閥門Ⅰ(5)以及設置于出水管(7)上的電動閥門Ⅱ(8),所述水槽(1)內(nèi)且位于進水管(6)的下端設置有水位傳感器Ⅰ(4),所述水槽(1)內(nèi)且位于出水管(7)的上端設置有水位傳感器Ⅱ(9)。
3.根據(jù)權利要求2所述的改善LED管芯清洗的工裝,其特征在于:還包括設置于插槽(2)內(nèi)的壓力傳感器(3)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





