[實用新型]雙面加熱裝置

有效

• 申請號: 201821557785.2
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209144262U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發明（設計）人: 袁世成
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 熊曲

1.一種雙面加熱裝置，其特征在于，包括：

若干加熱模塊(10)，依次安裝于真空腔室內，每個所述加熱模塊(10)均包括：

第一支架(100)，安裝于所述真空腔室的底板；

多個第一加熱管(300)，平行間隔地安裝于所述第一支架(100)遠離所述底板的一側；

第二支架(200)，與所述第一支架(100)相對連接，以形成用于傳送基片的通道；以及

多個第二加熱管(400)，平行間隔地安裝于所述第二支架(200)與所述第一支架(100)相對的一側。

2.根據權利要求1所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括第一支撐板(110)，安裝于所述第一支架(100)，所述第一支撐板(110)設有第一卡槽(111)，所述第一加熱管(300)卡設于所述第一卡槽(111)。

3.根據權利要求1所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括第二支撐板(210)，安裝于所述第二支架(200)，所述第二支撐板(210)設有第二卡槽(211)，所述第二加熱管(400)卡設于所述第二卡槽(211)。

4.根據權利要求3所述的雙面加熱裝置，其特征在于，所述第二支撐板(210)設有鉤部(212)，所述第二卡槽(211)開設于所述鉤部(212)，所述第二加熱管(400)能夠在重力作用下卡緊于所述第二卡槽(211)。

5.根據權利要求1所述的雙面加熱裝置，其特征在于，所述多個第一加熱管(300)與所述多個第二加熱管(400)一一對應。

6.根據權利要求1-5任一項所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括兩個第三加熱管(500)，均安裝于所述第一支架(100)，所述兩個第三加熱管(500) 分別位于所述多個第一加熱管(300)的兩端，所述兩個第三加熱管(500)的長度延伸方向垂直于所述第一加熱管(300)的長度延伸方向，所述第三加熱管(500)能夠貫穿所述若干加熱模塊(10)。

7.根據權利要求6所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括第三支撐板(120)，安裝于所述第一支架(100)，所述第三支撐板(120)設有第三卡槽(121)，所述第三加熱管(500)卡設于所述第三卡槽(121)。

8.根據權利要求1-5任一項所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括兩個第四加熱管(600)，均安裝于所述第二支架(200)，所述兩個第四加熱管(600)分別位于所述多個第二加熱管(400)的兩端，所述兩個第四加熱管(600)的長度延伸方向垂直于所述第二加熱管(400)的長度延伸方向，所述第四加熱管(600)能夠貫穿所述若干加熱模塊(10)。

9.根據權利要求8所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括第四支撐板(220)，安裝于所述第二支架(200)，所述第四支撐板(220)設有第四卡槽(221)，所述第四加熱管(600)卡設于所述第四卡槽(221)。

10.根據權利要求9所述的雙面加熱裝置，其特征在于，還包括擋板(222)，活動連接于所述第四支撐板(220)，用于將所述第四加熱管(600)鎖定于所述第四卡槽(221)中。