[實(shí)用新型]太陽(yáng)能電池片有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821556074.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-21 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN208954997U | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-06-07 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉志強(qiáng);費(fèi)正洪 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0352 | 分類號(hào): | H01L31/0352;H01L31/042 |
| 代理公司: | 蘇州威世朋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 韓曉園 |
| 地址: | 224400 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 重?fù)诫s區(qū) 緩沖 摻雜區(qū) 方阻 太陽(yáng)能電池片 輕摻雜區(qū) 電極 本實(shí)用新型 歐姆接觸 擴(kuò)散層 摻雜 電極形成 工藝誤差 硅片表面 少子壽命 偏移 硅片 重合 電池 | ||
本實(shí)用新型提供了一種太陽(yáng)能電池片,其包括硅片;位于所述硅片表面的擴(kuò)散層,所述擴(kuò)散層包括輕摻雜區(qū)、緩沖摻雜區(qū)、重?fù)诫s區(qū),所述重?fù)诫s區(qū)位于所述緩沖摻雜區(qū)內(nèi),輕摻雜區(qū)的方阻>緩沖摻雜區(qū)的方阻>重?fù)诫s區(qū)的方阻;電極,所述電極位于所述重?fù)诫s區(qū)上并與所述重?fù)诫s區(qū)形成歐姆接觸。本實(shí)用新型的太陽(yáng)能電池片,通過(guò)設(shè)置緩沖摻雜區(qū),且緩沖摻雜區(qū)的方阻介于輕摻雜區(qū)與重?fù)诫s區(qū)之間,當(dāng)由于工藝誤差電極與重?fù)诫s區(qū)不能完全重合時(shí),緩沖摻雜區(qū)可以與偏移的電極形成歐姆接觸,由于其摻雜適中,不會(huì)導(dǎo)致少子壽命嚴(yán)重偏低,大大改善了電池的效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及太陽(yáng)能電池制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種電池效率較高的太陽(yáng)能電池片。
背景技術(shù)
在太陽(yáng)能電池制造工藝中,擴(kuò)散摻雜制備PN結(jié)是主要的工序之一。擴(kuò)散工序在摻雜磷原子制備發(fā)射極的過(guò)程中,較輕的摻雜可以減少少子復(fù)合,增加少子壽命,但較輕的摻雜導(dǎo)致了金屬電極銀與硅接觸不好,增大了接觸電阻。選擇性發(fā)射極是一種在金屬電極區(qū)域重?fù)诫s,在非金屬區(qū)域輕摻雜的擴(kuò)散技術(shù),這樣既可以保證銀與硅接觸又可以增加少子壽命。
激光摻雜選擇性發(fā)射極(LDSE)是利用激光光束選擇性的照射硅表面,使硅襯底變成熔融狀態(tài),摻雜原子可以迅速進(jìn)入熔融硅中,當(dāng)激光光束消失后,熔融的硅冷卻結(jié)晶,摻雜原子就進(jìn)入硅晶體中,形成重?fù)诫s區(qū)。激光摻雜選擇性發(fā)射極中的一種制備流程如下:制絨→擴(kuò)散→激光摻雜→刻蝕→PECVD鍍膜→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)測(cè)試。
其中,在激光摻雜工序中,激光按照絲網(wǎng)印刷網(wǎng)版圖形進(jìn)行光照摻雜,在后道絲網(wǎng)印刷圖形區(qū)域形成重?fù)诫s。如圖1所示,在硅片1’表面具有輕摻雜區(qū) 11’和重?fù)诫s區(qū)13’;由于絲網(wǎng)印刷會(huì)存在部分硅片1’偏移和隨著網(wǎng)版使用壽命,柵線2’逐漸變寬等因素影響,激光重?fù)诫s區(qū)域13’的寬度必須遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于柵線2’的寬度,典型的例子中,激光摻雜寬度80um,銀柵線寬度40um。由于重?fù)诫s區(qū)域的寬度大于銀柵線的寬度,導(dǎo)致未與銀柵線接觸的重?fù)诫s區(qū)復(fù)合嚴(yán)重,少數(shù)載流子壽命低,影響電池100’的效率。
有鑒于此,有必要提供一種改進(jìn)的太陽(yáng)能電池片,以解決上述問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種電池效率較高的太陽(yáng)能電池片。
為實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的,本實(shí)用新型提供一種太陽(yáng)能電池片,其包括硅片;位于所述硅片表面的擴(kuò)散層,所述擴(kuò)散層包括輕摻雜區(qū)、緩沖摻雜區(qū)、重?fù)诫s區(qū),所述重?fù)诫s區(qū)位于所述緩沖摻雜區(qū)內(nèi),輕摻雜區(qū)的方阻>緩沖摻雜區(qū)的方阻>重?fù)诫s區(qū)的方阻;電極,所述電極位于所述重?fù)诫s區(qū)上并與所述重?fù)诫s區(qū)形成歐姆接觸。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),位于所述重?fù)诫s區(qū)寬度方向兩側(cè)的所述緩沖摻雜區(qū)的寬度介于所述重?fù)诫s區(qū)寬度的1/4~3/4之間。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),位于所述重?fù)诫s區(qū)寬度方向兩側(cè)的所述緩沖摻雜區(qū)的寬度均為所述重?fù)诫s區(qū)寬度的1/2。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),位于所述重?fù)诫s區(qū)寬度方向兩側(cè)的所述緩沖摻雜區(qū)的寬度相同或不同。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述重?fù)诫s區(qū)的寬度為所述電極寬度的0.8 倍~1.2倍。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述重?fù)诫s區(qū)的寬度與所述電極的寬度相同。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述輕摻雜區(qū)的方阻為130ohm±20ohm,所述緩沖摻雜區(qū)的方阻為100ohm±20ohm,所述重?fù)诫s區(qū)的方阻為60ohm± 10ohm。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述硅片為P型硅,所述擴(kuò)散層為磷擴(kuò)散層。
作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn),所述硅片為N型硅,所述擴(kuò)散層為硼擴(kuò)散層。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司,未經(jīng)鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司;蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門(mén)適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門(mén)適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





